王英先
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
- 供职机构：中国科学院合肥智能机械研究所更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 厚膜电容式压力传感器被引量：2
- 2009年
- 介绍一种厚膜电容式压力传感器,它以陶瓷弹性体和盖板为电容的电极,电极材料为钯银导体,传感器包括压力敏感芯片和电容—电压转换电路,该芯片是由两块能牢固键合成一体的基板组成,基板材料为96%Al2O3陶瓷。传感器量程为0～200kPa,电容值20pF,非线性0.3%,工作温度-20～+85℃,零点温漂小于200ppm/℃。具有易于批量生产、性能/价格比高等技术优势。
- 常慧敏周平高理升王英先徐智晴刘春艳
- 关键词：厚膜电容式压力敏感芯片
- 一种厚膜电容式压力敏感芯片被引量：1
- 2009年
- 厚膜电容式压力敏感芯片具有工作温度范围宽、耐腐蚀、抗过载能力强、蠕变和迟滞小等优点。该芯片是由2块能牢固键合成一体的上下基板组成,基板材料为96%Al2O3陶瓷。下基板既为弹性体,又为电容器的可动电极;上基板为电容器的固定电极并可承载运放、信号调节电路。文中研制的压力敏感芯片量程为0-100 kPa,电容值为30 pF,非线性为1.5%,工作温度为-40-125℃,零点温漂小于200 ppm/℃.
- 常慧敏李民强王英先关柯高理升
- 关键词：厚膜电容式压力敏感芯片
