汤俊
- 作品数：11 被引量：32H指数：4
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家重点实验室开放基金高等学校科技创新工程重大项目更多>>
- 相关领域：化学工程一般工业技术自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 电镀层均匀性的Ansys模拟与优化被引量：15
- 2008年
- 尝试用Ansys有限元软件对电镀过程中电力线分布进行模拟分析.并采用一些辅助措施改进电镀模型,力求使电镀层厚度的均匀性有所提高。模拟分析发现:在阴阳极之间加上一块中间带孔的挡板,可以改善镀层的均匀性。当辅助挡板的孔径为5 cm、且离开阴极5.25 cm时,电镀层厚度的相对误差由无挡板时的41.8%降为24.3%。通过电镀试验验证模拟分析,结果两者显示出较好的一致性。
- 董久超王磊汤俊刘瑞汪红戴旭涵
- 关键词：微机电系统电镀均匀性有限元分析
- 微电铸装置
- 本发明是一种微电铸装置，包括：阴极夹具，阴极，电铸液搅拌管，进液口，电场分布挡板，电场分布挡板定位挡板，出液口，阳极，微电铸槽。阳极和阴极夹具垂直设置于微电铸槽的侧面成彼此面对，阴极置于阴极夹具中，微电铸槽的侧板中设置有...
- 汪红汤俊刘瑞王志民丁桂甫
- 文献传递
- UV-LIGA镍薄膜材料的力学性能测试与分析被引量：4
- 2010年
- 利用LIGA或UV-LIGA技术制备的镍,特别适合作为微器件的结构材料。材料的力学性能在微器件的仿真设计和实际使用中起到重要作用。主要利用常规的力学试验机和自行搭建的微拉伸平台,通过单轴拉伸方法测试了电流密度为20mA/cm2的UV-LIGA镍薄膜的力学性能。3种测试方法的结果呈现了一致的规律性变化——弹性模量显著降低,强度显著提高,表明UV-LIGA镍具有与块体镍显著不同的力学性能。通过X射线衍射分析(XRD),测量了该电流密度下试样的择优取向和晶粒尺寸,通过场发射扫描电镜(SEM)观察了试样的表面形貌和拉伸断口,并初步地分析了UV-LIGA镍力学性能的变化原因。该测试结果为微器件的仿真设计提供了重要的参考依据。
- 毛胜平汪红刘瑞汤俊李雪萍丁桂甫
- 关键词：MEMS电沉积单轴拉伸
- MEMS微结构电沉积层均匀性的有限元模拟被引量：10
- 2008年
- 利用有限元软件ANSYS对MEMS微电铸Ni工艺进行电场模拟,研究了光刻胶厚度、线宽以及片内辅助电极参数对微结构表面电场分布均匀性的影响。根据模拟结果,利用微电铸试验研究了微结构单元尺寸以及辅助极距离和大小对于微结构层厚度均匀性的影响。模拟和试验结果均表明,微结构单元尺寸是影响其均匀性的主要因素之一,合理添加片内辅助极是提高微结构铸层厚度均匀性的有效方法。而且,有限元分析软件ANSYS可以对微结构的电镀过程进行有效的模拟分析。
- 汤俊汪红刘瑞毛胜平李雪萍王志民丁桂甫
- 关键词：微电铸MEMS有限元
- MEMS结构材料的微拉伸系统测试方法与应用研究
- 微机电系统/(MEMS/)中微结构的尺寸通常在毫微米量级甚至更小,当材料特征长度在微纳米量级时,材料具有很强的尺度效应,造成其性能与宏观材料明显不同。不仅如此,对于微结构材料,即使具有相同的成分与尺寸,不同的制备方法也会...
- 汤俊
- 关键词：微机械系统微拉伸UV-LIGA有限元仿真
- 文献传递
- 电热驱动的面内双稳态射频微开关
- 一种微机电技术领域的电热驱动的面内双稳态射频微开关，包括：电热驱动机构、机械闭锁机构和信号转换机构，其中：电热驱动机构位于机械闭锁机构的正下方，机械闭锁机构与信号转换机构相连接。本发明利用一对闭锁触头实现机械锁定，稳态保...
- 汪红毛胜平吴义伯汤俊丁桂甫
- 文献传递
- 电热驱动的面内双稳态射频微开关
- 一种微机电技术领域的电热驱动的面内双稳态射频微开关，包括：电热驱动机构、机械闭锁机构和信号转换机构，其中：电热驱动机构位于机械闭锁机构的正下方，机械闭锁机构与信号转换机构相连接。本发明利用一对闭锁触头实现机械锁定，稳态保...
- 汪红毛胜平吴义伯汤俊丁桂甫
- 单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试的系统集成被引量：7
- 2010年
- 为了对微米尺度薄膜材料的力学性能进行测试,开发了一套成本较低的单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试系统。首先,根据有限元模拟优化设计测试样片,使其能够易于夹持、准确对中,以利于应力和应变的测量。接着采用三维非硅UV-LIGA微加工技术制备了Ni薄膜样片。根据单轴拉伸测试过程和硬件构成,以Visual Basic为平台编译了一套数据采集与分析系统。最后,应用该测试系统完成对电镀Ni薄膜材料性能的测试。实验结果表明,该系统能够精确测试试样应变,精度达到0.01μm,拉伸力精度达到mN级。得到的电镀Ni薄膜材料的杨氏模量约为94.5 GPa,抗拉强度约为1.76 GPa。该系统基本满足微米尺度材料单轴微拉伸力学性能测试的需要。
- 汪红汤俊刘瑞陈晖丁桂甫
- 关键词：微机电系统有限元模拟UV-LIGA杨氏模量镍
- 薄膜性能测试用微型弹簧力学传感器的制作方法
- 一种测试技术领域的薄膜性能测试用微型弹簧力学传感器的制作方法，步骤：玻璃片上，溅射金属Ti层，并作氧化处理，在溅射、氧化处理的玻璃片上，进行甩负性光刻胶、前烘、显影，根据掩模版设计的微型弹簧力学传感器形状，实现其光刻胶结...
- 汪红刘瑞汤俊丁桂甫李雪萍
- 文献传递
- 微电铸装置
- 本发明是一种微电铸装置，包括：阴极夹具，阴极，电铸液搅拌管，进液口，电场分布挡板，电场分布挡板定位挡板，出液口，阳极，微电铸槽。阳极和阴极夹具垂直设置于微电铸槽的侧面成彼此面对，阴极置于阴极夹具中，微电铸槽的侧板中设置有...
- 汪红汤俊刘瑞王志民丁桂甫
- 文献传递
