李雪萍
- 作品数：15 被引量：34H指数：4
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划中国博士后科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术化学工程金属学及工艺电子电信更多>>
- 微器件用Ni-W合金薄膜热稳定性的研究被引量：5
- 2008年
- 研究了低应力柠檬酸胺-1-羟基乙烷二膦酸(HEDP)镀液体系中电流密度、pH值、脉冲参数和热处理条件等对Ni-W合金薄膜硬度的影响。结果表明,电镀工艺条件对硬度提高有限,热处理对Ni-W合金薄膜的硬度有明显提高。同时研究对比了沉积态及550℃热处理后Ni和Ni-W硬度、干摩擦条件下耐磨性以及微观结构的变化。实验发现:多晶的Ni薄膜经过热处理后,晶粒尺寸显著长大,硬度、耐磨性约下降2/3;而Ni-W合金薄膜经过热处理后,微观结构由非晶转变成纳米晶,薄膜仍保持良好的耐磨性,硬度提高了1倍。Ni-W合金薄膜优异的热稳定性,有望在特殊环境下取代Ni薄膜在MEMS器件上获得应用。
- 刘瑞汪红姚锦元李雪萍丁桂甫赵小林
- 关键词：NI-W合金电沉积热稳定性
- 用于薄膜力学性能测试的单轴微拉伸试件
- 一种力学性能测试技术的用于薄膜力学性能测试的单轴微拉伸试件，包括U型支撑平台、移动平台、蛇形支撑弹簧、对中标记、位移标记，蛇形支撑弹簧连接U型支撑平台和移动平台，U型支撑平台和移动平台与薄膜试样的两端悬空相连，对中标记位...
- 汪红刘瑞丁桂甫李雪萍杨春生
- 文献传递
- MEMS微结构电沉积层均匀性的有限元模拟被引量：10
- 2008年
- 利用有限元软件ANSYS对MEMS微电铸Ni工艺进行电场模拟,研究了光刻胶厚度、线宽以及片内辅助电极参数对微结构表面电场分布均匀性的影响。根据模拟结果,利用微电铸试验研究了微结构单元尺寸以及辅助极距离和大小对于微结构层厚度均匀性的影响。模拟和试验结果均表明,微结构单元尺寸是影响其均匀性的主要因素之一,合理添加片内辅助极是提高微结构铸层厚度均匀性的有效方法。而且,有限元分析软件ANSYS可以对微结构的电镀过程进行有效的模拟分析。
- 汤俊汪红刘瑞毛胜平李雪萍王志民丁桂甫
- 关键词：微电铸MEMS有限元
- 一种用于微拉伸系统的MEMS弹簧设计与制作被引量：5
- 2008年
- 针对微拉伸测试系统支撑梁因塑性变形带来的误差,采用UV-LIGA技术制备出S型支撑弹簧来代替刚性梁,这样即可测量大变形薄膜的力学性能。实验结果表明,用UV-LIGA工艺制备的Ni金属S形弹簧具有良好的均匀性,在较大的变形范围内有很好的线弹性。
- 刘瑞汪红丁桂甫李雪萍杨春生
- 关键词：电铸MEMS
- 镍基碳纳米管复合电沉积薄膜的制备和机械性能分析被引量：6
- 2009年
- 采用直径为10～20 nm的碳纳米管作为增强相材料,采用间歇超声复合空气搅拌,通过复合电沉积技术,制备了碳管均匀分散,表面平整连续的镍基碳纳米管复合薄膜。通过扫描电子显微镜(SEM),对镀层的表面形貌进行了观察,并用表面轮廓仪,对镀层的粗糙度进行了测量。通过显微硬度计和纳米硬度计对镀层的硬度分别进行了测量,采用一种新型的微拉伸器件对复合薄膜的拉伸性能进行了测量。通过实验发现,采用间歇超声复合空气搅拌方式在镍镀层中复合碳纳米管,可以明显的提高镀层的硬度,并且当镀层中碳纳米管体积百分比在4%左右时,镀层硬度最大。同时镀层的抗拉强度也有所提高,通过用SEM对镀层断裂处观测,验证了碳纳米管的增强效应。
- 诸利达丁桂甫刘瑞汪红李雪萍
- 关键词：材料学镍基复合材料复合电沉积碳纳米管
- 一种MEMS薄膜材料的力学性能测试方法被引量：2
- 2007年
- 介绍了一种用于MEMS薄膜材料力学特性测试的单轴拉伸试验方法。其特点是微小试件两端固定,且与加载机构集成在基片上,从而可减少操作工作量,提高对准精度。整个机构以微细加工方法制成,硅类试件以干法蚀刻成型,金属类试件以电镀方法成型,其余加载机构以湿法刻蚀制成。试验表明:使用此机构可以简单且高精度地对薄膜试件进行拉伸试验,获得多项力学性能参数,从而为MEMS器件设计和分析提供可靠的理论基础。
- 李雪萍丁桂甫安藤妙子式田光宏佐藤一雄
- 关键词：微机电系统力学性能
- UV-LIGA镍薄膜材料的力学性能测试与分析被引量：4
- 2010年
- 利用LIGA或UV-LIGA技术制备的镍,特别适合作为微器件的结构材料。材料的力学性能在微器件的仿真设计和实际使用中起到重要作用。主要利用常规的力学试验机和自行搭建的微拉伸平台,通过单轴拉伸方法测试了电流密度为20mA/cm2的UV-LIGA镍薄膜的力学性能。3种测试方法的结果呈现了一致的规律性变化——弹性模量显著降低,强度显著提高,表明UV-LIGA镍具有与块体镍显著不同的力学性能。通过X射线衍射分析(XRD),测量了该电流密度下试样的择优取向和晶粒尺寸,通过场发射扫描电镜(SEM)观察了试样的表面形貌和拉伸断口,并初步地分析了UV-LIGA镍力学性能的变化原因。该测试结果为微器件的仿真设计提供了重要的参考依据。
- 毛胜平汪红刘瑞汤俊李雪萍丁桂甫
- 关键词：MEMS电沉积单轴拉伸
- 微拉伸系统中微弹簧力学传感器的研究被引量：2
- 2009年
- 研究应用于薄膜力学微拉伸测试系统的微弹簧力传感器。在单轴薄膜微拉伸系统的基础上,通过有限元模拟分析,研究以S型弹簧为结构基础的微弹簧力传感器。根据模拟结果,利用高精度线切割和UV-LIGA(Ultraviolet Lithographie GalVanoformung Abformung)技术制备出微弹簧力传感器,并在自制装置上进行标定。标定结果表明,由负胶工艺制备的自由式微弹簧力传感器有良好的线性,而且与Ansys模拟的弹性系数结果一致,为微拉伸测试系统提供良好的条件。
- 刘瑞汪红李雪萍丁桂甫
- 关键词：力传感器ANSYS
- 薄膜材料微拉伸测试系统
- 本发明涉及一种薄膜材料技术领域的薄膜材料微拉伸测试系统，包括样品台、样品结构、驱动机构和测量观察装置。样品台中的金属底座被吸附在真空吸附台上，然后通过铆接固定在XYZθ移动平台上面；样品结构中的移动平台通过支撑弹簧和支撑...
- 丁桂甫刘瑞李雪萍汪红杨春生
- 文献传递
- 薄膜性能测试用微型弹簧力学传感器的制作方法
- 一种测试技术领域的薄膜性能测试用微型弹簧力学传感器的制作方法，步骤：玻璃片上，溅射金属Ti层，并作氧化处理，在溅射、氧化处理的玻璃片上，进行甩负性光刻胶、前烘、显影，根据掩模版设计的微型弹簧力学传感器形状，实现其光刻胶结...
- 汪红刘瑞汤俊丁桂甫李雪萍
- 文献传递
