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面向近红外微型光谱仪的MOEMS扫描光栅微镜关键技术研究: 随着近红外光谱分析技术的快速发展和众多前沿学科的相互交叉融合，近红外微型光谱仪已成为近年来研究的又一个热点。论文针对近红外微型光谱仪研制中急需突破的核心元器件关键技术问题，开展面向近红外微型光谱仪的MOEMS扫描光栅微镜...; 罗彪; 关键词：控制电路; 文献传递

基于MOEMS工艺集成角度传感器的微扫描光栅: 本发明提出的一种高衍射效率、集成压阻角度传感器、电磁驱动的基于MOEMS工艺的扫描微光栅，它由电磁驱动单元，压阻角度传感器单元，光栅衍射面单元，支撑梁单元四部分构成。它采用不同于其他扫描光栅驱动结构，实现偏转角的主动监测...; 温志渝罗彪; 文献传递

岩盐压裂机理和工程应用的模拟研究: 邱贤德阳友奎庄乾城阎宗岭罗彪章勇武王心飞马建春余永强黄木坤万晓燕黄文章徐映富杨正良黄书义陈光举邓国红姜永东; 该项目通过对矿区地质构造特征、岩（矿）石物理力学性质、岩盐晶体组构特征与微裂隙分布规律、矿区地应力场、岩盐水力压裂机理（岩盐破裂、扩展、遮挡效应和裂隙的理论分析）和压裂工艺措施等的深入系统研究和现场应用试验，揭示了岩盐微...; 关键词：; 关键词：工程应用

面向微小型紫外光谱仪的凹面光栅模拟与设计被引量：3: 2012年; 针对微型紫外光谱仪设计要求,基于凹面光栅理论与方法开展了微小型紫外光谱仪的像差分析,完成平场化凹面光栅的模拟分析与设计,解决了紫外宽光谱与高分辨率问题,同时应用光栅衍射理论、全息光学理论,采用光栅设计软件PCGrate对凹面光栅的衍射效率进行了设计和优化,使所应用级次的光谱衍射效率在整个设计波段内达到最优,实现了微小型紫外光谱仪的平场凹面光栅设计。所设计紫外凹面光栅工作波长范围190～410nm、口径20mm,F/#=0.21。按照设计参数装调的微型紫外光谱仪在宽度为50μm缝光源再现情况下,光谱分辨率优于3nm,衍射效率无异常出现。; 罗彪温志渝温中泉曾甜玲; 关键词：紫外光谱衍射效率 ZEMAX

基于MOEMS工艺集成角度传感器的微扫描光栅: 本发明提出的一种高衍射效率、集成压阻角度传感器、电磁驱动的基于MOEMS工艺的扫描微光栅，它由电磁驱动单元，压阻角度传感器单元，光栅衍射面单元，支撑梁单元四部分构成。它采用不同于其他扫描光栅驱动结构，实现偏转角的主动监测...; 温志渝罗彪; 文献传递

MOEMS扫描微镜的测试实验与分析被引量：1: 2012年; 针对集成角度传感器微镜在实际使用过程中的要求,在分析研究MOEMS扫描微镜结构与工作原理的基础上,进行了MOEMS扫描微镜最大偏转角度、驱动电压、谐振频率和传感器输出参数的测试.并且为了提高数据的可靠性,利用几何光学理论和误差理论的方法对该测试系统进行了详细分析,以此作为测试的系统误差与测试随机误差进行了误差合成.误差分析表明,该微镜在驱动电压为0.7 V时,最大偏转角为±8.704 15°,测试误差为±0.045 605°.此外,还对测试过程中扫描微镜谐响应频率随扫描模式及扫描电压而变化的现象进行了分析.; 罗彪温志渝陈李钱蓉蓉梁玉前; 关键词：MOEMS 角度传感器误差分析

基于MOEMS扫描微镜的近红外光谱仪分光系统结构被引量：2: 2011年; 针对近红外光谱仪由于红外CCD导致的红外光谱仪高成本问题,提出用MOEMS微镜阵列进行光路结构改进,并且解决了红外光谱仪成像像斑不规则从而难以采用MOEMS微镜阵列进行光谱扫描的问题,设计了一种新的分光成像结构。该结构基于全息凹面光栅理论来规则光谱成像的像斑,采用光学设计软件ZEMAX和针对特定像差评判标准的优化算法,按照像斑规则化的要求设计并优化了光路结构。该光路结构中的平场全息凹面光栅工作波长范围为900～1 400nm。对设计结果分析表明:在宽度为50μm缝光源情况下,分光系统的理论分辨率优于6nm,像斑的可用尺寸约为0.042mm×0.08mm。验证实例表明,该设计满足了像斑规则化的要求,可以使用MOEMS微镜进行光谱反射扫描,验证了新型实用化MOEMS微镜阵列光谱仪模型的可行性,在最后对探测器所处位置与微镜最大偏转角的关系进行了分析。; 罗彪温志渝温中泉陈李钱蓉蓉; 关键词：近红外光谱仪像散 ZEMAX

基于MEMS微镜阵列的微型光谱仪: 本发明提出一种基于MEMS微镜阵列的微型光谱仪，包括分光成像、MEMS扫描微镜阵列、光谱信号获取与处理三部分；分光成像部分包括狭缝和平场凹面光栅，MEMS扫描微镜阵列部分包括微镜阵列器件和微镜控制电路模块，光谱信号获取与...; 温志渝罗彪温中泉; 文献传递

近红外微镜光谱仪光学系统优化设计的研究: 近红外光谱是指波长在0.78-2.5μm范围内的电磁波。通过对特定物质的近红外光谱分析可确定其组份，具有分析样品用量少等优点，广泛应用于生物学等领域。凹面光栅除了具有分光成像的功能外，还具有校正像差形成平场谱面的特点。本...; 罗彪温志渝温中泉; 关键词：近红外光谱仪光学系统; 文献传递

集成角度传感器的大面积压电驱动微镜: 本发明提出一种集成角度传感器的压电驱动扫描微镜，它包括集成在同一基片材料上的MOEMS微镜反射镜面、MOEMS微镜驱动器、MOEMS微镜角度传感器三部分。微镜驱动器由多根压电梁并联构成，微镜驱动器对称分布在MOEMS微镜...; 温志渝罗彪温中泉贺学锋; 文献传递

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罗彪