钱蓉蓉
- 作品数：5 被引量：4H指数：1
- 供职机构：重庆大学更多>>
- 发文基金：重庆市科技攻关计划国际科技合作与交流专项项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信更多>>
- 大转角压电扫描微镜
- 本发明公开了一种单片集成的大转角压电扫描微镜，包括微反射镜面、压电微驱动器、角度传感器以及支撑框架，所述反射镜面、压电微驱动器以及支撑框架均制作在同一片硅基底上，反射镜面、压电微驱动器位于支撑框架结构的内部；本发明采用压...
- 温志渝钱蓉蓉陈李温中泉贺学锋
- 文献传递
- 集成角度传感器的MOEMS扫描微镜研究
- MEOMS扫描微镜作为微光学系统的核心器件,被广泛地应用于光通信、图像显示、自适应光学和光谱分析技术等领域。与传统电机驱动的反射镜相比,基于MOEMS技术的扫描微镜具有体积小、功耗低、成本低、可批量制造等优点,成为MOE...
- 钱蓉蓉
- 关键词：MOEMS角度传感器
- 文献传递
- 大转角压电扫描微镜
- 本发明公开了一种单片集成的大转角压电扫描微镜，包括微反射镜面、压电微驱动器、角度传感器以及支撑框架，所述反射镜面、压电微驱动器以及支撑框架均制作在同一片硅基底上，反射镜面、压电微驱动器位于支撑框架结构的内部；本发明采用压...
- 温志渝钱蓉蓉陈李温中泉贺学锋
- 文献传递
- MOEMS扫描微镜的测试实验与分析被引量：1
- 2012年
- 针对集成角度传感器微镜在实际使用过程中的要求,在分析研究MOEMS扫描微镜结构与工作原理的基础上,进行了MOEMS扫描微镜最大偏转角度、驱动电压、谐振频率和传感器输出参数的测试.并且为了提高数据的可靠性,利用几何光学理论和误差理论的方法对该测试系统进行了详细分析,以此作为测试的系统误差与测试随机误差进行了误差合成.误差分析表明,该微镜在驱动电压为0.7 V时,最大偏转角为±8.704 15°,测试误差为±0.045 605°.此外,还对测试过程中扫描微镜谐响应频率随扫描模式及扫描电压而变化的现象进行了分析.
- 罗彪温志渝陈李钱蓉蓉梁玉前
- 关键词：MOEMS角度传感器误差分析
- 基于MOEMS扫描微镜的近红外光谱仪分光系统结构被引量：2
- 2011年
- 针对近红外光谱仪由于红外CCD导致的红外光谱仪高成本问题,提出用MOEMS微镜阵列进行光路结构改进,并且解决了红外光谱仪成像像斑不规则从而难以采用MOEMS微镜阵列进行光谱扫描的问题,设计了一种新的分光成像结构。该结构基于全息凹面光栅理论来规则光谱成像的像斑,采用光学设计软件ZEMAX和针对特定像差评判标准的优化算法,按照像斑规则化的要求设计并优化了光路结构。该光路结构中的平场全息凹面光栅工作波长范围为900～1 400nm。对设计结果分析表明:在宽度为50μm缝光源情况下,分光系统的理论分辨率优于6nm,像斑的可用尺寸约为0.042mm×0.08mm。验证实例表明,该设计满足了像斑规则化的要求,可以使用MOEMS微镜进行光谱反射扫描,验证了新型实用化MOEMS微镜阵列光谱仪模型的可行性,在最后对探测器所处位置与微镜最大偏转角的关系进行了分析。
- 罗彪温志渝温中泉陈李钱蓉蓉
- 关键词：近红外光谱仪像散ZEMAX
