龙亮
- 作品数：13 被引量：26H指数：4
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家重大科学仪器设备开发专项国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电气工程自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>
- 基于MEMS波长可调谐FP光纤滤波器及其制备方法
- 本发明提供一种基于MEMS波长可调谐FP光纤滤波器及其制备方法，包括：1）提供半导体基底，在半导体基底的第一表面形成第一凹槽及第二凹槽；2）提供键合基底，在键合基底的第一表面形成第三凹槽；3）将半导体基底与键合基底键合；...
- 郭智慧龙亮杨恒钟少龙
- 微型光纤磁传感器的设计与制作被引量：12
- 2013年
- 提出了一种基于微机电系统(MEMS)扭镜结构的光纤磁场传感器,并利用对角度变化非常敏感的双光纤准直器对扭镜的扭转角度进行了检测。该MEMS光纤磁传感器由MEMS扭镜结构、磁性敏感薄膜和双光纤准直器组成。文中分析了器件的磁敏感原理和光纤检测原理,介绍了器件综合设计方法,并给出了器件的结构参数。利用MEMS加工技术成功制作出了MEMS光纤磁传感器样品,最终得到的磁传感器的尺寸为3.7 mm×2.7 mm×0.5 mm。对磁传感器进行了实验测试,得到的输出实验值与理论值吻合。测试结果表明,该磁传感器的光纤检测灵敏度可达到0.65 dB/mT,最小可分辨磁场可达167 nT。将MEMS敏感结构与光纤检测相结合,该传感器兼备了两者的优点,结构紧凑、制作工艺简单、工作时无需电流激励。
- 龙亮钟少龙徐静吴亚明
- 关键词：光纤传感器磁传感器微机电系统磁性薄膜
- 基于扭转闪耀光栅检测的磁场传感器及其制备方法
- 本发明提供一种基于扭转闪耀光栅检测的磁场传感器及其制备方法，包括：1）提供半导体基底，在半导体基底表面形成第一凹槽；2）在第一凹槽内形成磁性薄膜结构；3）提供键合基底，将半导体基底与键合基底键合；4）在键合后的半导体基底...
- 龙亮钟少龙
- 文献传递
- 单芯片三轴磁场传感器及制备方法
- 本发明提供一种单芯片三轴磁场传感器及制备方法。所述单芯片三轴磁场传感器至少包括：第一基底；形成于第一基底表面的至少两个第一电极及至少四个第二电极；与所述第一基底键合的第二基底，其具有与两个第一电极分别形成电容结构的单轴扭...
- 吴亚明龙亮
- 文献传递
- 高精度波长形加速度传感器及其制备方法
- 本发明提供一种高精度波长形加速度传感器及其制备方法，包括：1）提供第一半导体基底，在第一半导体基底的表面形成第一凹槽；2）提供第二半导体基底，在第二半导体基底的表面形成闪耀光栅结构；3）将第一半导体基底与第二半导体基底键...
- 龙亮钟少龙郭智慧
- 基于光纤检测技术的扭转敏感微机电系统加速度传感器被引量：4
- 2014年
- 为实现微型化、抗电磁干扰、可长时间工作和可远距离传输的加速度传感器,提出了一种基于微机电系统(MEMS)非对称扭镜结构的光纤加速度计设计方案,并利用对角度变化非常敏感的双光纤准直器对扭镜的扭转角度变化进行检测。MEMS光纤加速度计由MEMS非对称扭镜结构、驱动电极和双光纤准直器等组成。分析了器件的加速度敏感原理和光纤检测原理,介绍了器件综合设计考虑,并给出了器件的结构参数。利用MEMS加工技术成功制作了MEMS光纤加速度计样品。对加速度计进行了实验测试,加速度计的输出实验值与理论值吻合。测试结果表明,该加速度计量程为±2g,带宽为600 Hz,分辨率优于10-4 g,且具有良好的线性度和重复性。该MEMS光纤加速度计将MEMS敏感结构与光纤检测相结合,兼备了两者的优点,结构紧凑、制作工艺简单。
- 钟少龙龙亮李明吴亚明
- 关键词：传感器微机电系统加速度计光纤传感器微加工
- 单芯片三轴磁场传感器及制备方法
- 本发明提供一种单芯片三轴磁场传感器及制备方法。所述单芯片三轴磁场传感器至少包括：第一基底；形成于第一基底表面的至少两个第一电极及至少四个第二电极；与所述第一基底键合的第二基底，其具有与两个第一电极分别形成电容结构的单轴扭...
- 吴亚明龙亮
- 文献传递
- 基于MEMS波长可调谐FP光纤滤波器及其制备方法
- 本发明提供一种基于MEMS波长可调谐FP光纤滤波器及其制备方法，包括：1）提供半导体基底，在半导体基底的第一表面形成第一凹槽及第二凹槽；2）提供键合基底，在键合基底的第一表面形成第三凹槽；3）将半导体基底与键合基底键合；...
- 郭智慧龙亮杨恒钟少龙
- 文献传递
- 多台阶平板静电驱动的高占空比微镜阵列的研制被引量：5
- 2011年
- 为了在限定驱动电压下获得大镜面尺寸、大扭转角度的微镜阵列,提出了一种多台阶平板静电驱动结构的微镜阵列。理论分析了多台阶平板结构与平行平板结构在静电驱动时的区别。研究了多台阶平板结构的制作工艺并采用体硅加工工艺制作了多台阶平板静电驱动的微镜阵列,获得了微镜面尺寸达到600μm×200μm,包含52个微镜面排布,占空比高达97%的微镜阵列。测试表明,制作的微镜面结构在驱动电压为164 V时可以实现最大1.1°的扭转角度,相对于传统的平行平板静电驱动结构大大降低了驱动电压。
- 李四华徐静龙亮钟少龙吴亚明
- 关键词：微光机电系统平行平板静电驱动高占空比
- 高精度波长形加速度传感器及其制备方法
- 本发明提供一种高精度波长形加速度传感器及其制备方法，包括：1）提供第一半导体基底，在第一半导体基底的表面形成第一凹槽；2）提供第二半导体基底，在第二半导体基底的表面形成闪耀光栅结构；3）将第一半导体基底与第二半导体基底键...
- 龙亮钟少龙郭智慧
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