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王建鹏

作品数：1 被引量：5H指数：1
供职机构：上海理工大学机械工程学院更多>>
发文基金：上海市教育委员会重点学科基金上海市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇多层膜
  • 1篇显微结构
  • 1篇力学性能
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米多层膜
  • 1篇SI含量
  • 1篇CRN
  • 1篇力学性

机构

  • 1篇上海理工大学

作者

  • 1篇刘新宽
  • 1篇刘平
  • 1篇陈小红
  • 1篇马凤仓
  • 1篇何代华
  • 1篇王建鹏
  • 1篇李伟

传媒

  • 1篇中国有色金属...

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
Si含量对CrN/TiSiN纳米多层膜显微结构和力学性能的影响被引量：5
2014年
采用不同Si含量的TiSi复合靶和Cr靶,用射频磁控溅射工艺在Si基底片上沉积不同Si含量的CrN/TiSiN纳米多层膜。采用X射线衍射仪(XRD)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)和纳米压痕仪研究Si含量对CrN/TiSiN纳米多层膜显微结构和力学性能的影响。结果表明:随着Si含量的增加,CrN相的结晶程度先增加后降低,涂层的力学性能先提高后降低,当n(Si):n(Ti)=7:18时获得最高硬度为31.5GPa。HRTEM观测表明,在n(Si):n(Ti)=7:18时,TiSiN层在CrN层的模板作用下呈面心立方结构,并且与CrN层形成共格外延生长结构;当n(Si):n(Ti)=11:14时,TiSiN层总体呈非晶结构,与CrN层的共格外生长结构被破坏。硬度的升高主要与TiSiN与CrN形成共格外延生长结构有关。
王建鹏李伟刘平马凤仓刘新宽陈小红何代华
关键词：CRNSI含量显微结构力学性能
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