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李搏

作品数：7 被引量：3H指数：1
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇自动化与计算...
  • 2篇电子电信

主题

  • 5篇仿真
  • 3篇有效信息
  • 3篇数据帧
  • 2篇设备间
  • 2篇实时性
  • 2篇数据格式
  • 2篇通信
  • 2篇通信模式
  • 2篇归一化
  • 2篇仿真设备
  • 2篇仿真系统
  • 2篇半导体
  • 1篇字符
  • 1篇字符提取
  • 1篇半导体工艺
  • 1篇半导体工艺设...
  • 1篇半导体设备
  • 1篇半实物
  • 1篇半实物仿真
  • 1篇PVD

机构

  • 6篇清华大学
  • 2篇重庆邮电大学

作者

  • 7篇李搏
  • 6篇王巍
  • 5篇高士云
  • 5篇徐华
  • 4篇邹龙庆
  • 1篇贾培发
  • 1篇李垒

传媒

  • 1篇电子科技大学...

年份

  • 2篇2013
  • 1篇2012
  • 4篇2011
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
基于SEMI标准的半导体工艺设备功能仿真系统设计被引量：3
2012年
设计实现了一个基于SEMI标准的半导体工艺设备仿真平台,该平台具有通用可配置特性。在该平台的基础上,构建了一套基于SEMI标准的气路功能仿真系统,该气路仿真系统包含了功能层、逻辑层和外部通信接口层,既能满足单独设备的功能仿真需求,也能对整个系统的功能进行仿真验证。该系统实现了对物理气相沉积(PVD)系统中,气路中阀门的闭合动作及气流变化等的实时仿真分析。
王巍邹龙庆徐华李搏贾培发李垒
关键词：半导体工艺设备
一种用于仿真系统的内部互锁管理方法及装置
本发明公开了一种用于仿真系统的内部互锁管理方法，包括如下步骤：建立属性原型库；根据属性原型库，配置所述仿真设备之间的互锁信息；和将所述互锁信息发送给相应的仿真设备，所述仿真设备根据互锁信息执行相应的互锁动作。本发明还公开...
徐华王巍高士云李搏
一种动态协议的配置与解析方法及装置
本发明提出一种动态协议的配置与解析方法，包括如下步骤：配置并保存动态协议的命令的有效信息提取方式和命令的解析方式；根据所述有效信息提取方式提取所述命令的有效信息；根据所述命令的解析方式解析所述命令的有效信息，并根据解析结...
徐华王巍李搏邹龙庆高士云
文献传递
基于300mm SEMI标准的PVD功能仿真与关键技术研究
在集成电路制造装备的研究、开发和测试工作中，功能仿真扮演了重要的角色。一方面，面对各种系统控制软件，需要先进的功能仿真系统。另一方面，由于集成电路制造装备研发本身的复杂性，对更多的理论研究不断提出新要求，而这些要求需要借...
李搏
关键词：半实物仿真
文献传递
一种动态协议的配置与解析方法及装置
本发明提出一种动态协议的配置与解析方法，包括如下步骤：配置并保存动态协议的命令的有效信息提取方式和命令的解析方式；根据所述有效信息提取方式提取所述命令的有效信息；根据所述命令的解析方式解析所述命令的有效信息，并根据解析结...
徐华王巍李搏邹龙庆高士云
一种用于仿真系统的内部互锁管理方法及装置
本发明公开了一种用于仿真系统的内部互锁管理方法，包括如下步骤：建立属性原型库；根据属性原型库，配置所述仿真设备之间的互锁信息；和将所述互锁信息发送给相应的仿真设备，所述仿真设备根据互锁信息执行相应的互锁动作。本发明还公开...
徐华王巍高士云李搏
文献传递
用于解析半导体设备的通信命令的方法及系统
本发明提出一种用于解析半导体设备的通信命令的方法及系统，其中，方法包括以下步骤：根据通信命令的格式，设置提取字符和解析方式，其中，所述解析方式包括第一解析方式和第二解析方式；根据所述提取字符提取所述通信命令中的有效信息，...
徐华王巍李搏邹龙庆高士云
文献传递
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