李垒
- 作品数:8 被引量:3H指数:1
- 供职机构:清华大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家科技重大专项重庆市自然科学基金更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 并行化仿真多线程管理方法
- 本发明提出一种并行化仿真多线程管理方法,包括以下步骤:将所有通讯方式实例为通讯对象分别用一个线程承载;对所述所有通讯对象的接收和发送方法进行多线程管理;将所有设备类实例为设备对象;对所述设备对象命令的解析,动作的执行,条...
- 徐华王巍高士云李垒
- 文献传递
- 基于SEMI标准的半导体工艺设备功能仿真系统设计被引量:3
- 2012年
- 设计实现了一个基于SEMI标准的半导体工艺设备仿真平台,该平台具有通用可配置特性。在该平台的基础上,构建了一套基于SEMI标准的气路功能仿真系统,该气路仿真系统包含了功能层、逻辑层和外部通信接口层,既能满足单独设备的功能仿真需求,也能对整个系统的功能进行仿真验证。该系统实现了对物理气相沉积(PVD)系统中,气路中阀门的闭合动作及气流变化等的实时仿真分析。
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- 关键词:半导体工艺设备
- 面向半导体制造装备功能仿真的通信协议模式配置方法
- 本发明提出一种面向半导体制造装备功能仿真的通信协议模式配置方法,包括以下步骤:将数字IO端口配置为布尔类型通信协议,将模拟IO端口配置为数值类型通信协议,将串口端口、以太网端口和DeviceNet端口配置为字符串类型通信...
- 徐华王巍高士云李垒邓俊辉潘晨光
- 文献传递
- 面向半导体制造设备功能仿真的参数变化规律模拟系统
- 本发明提出一种面向半导体制造装备功能仿真的运行参数变化规律模拟系统,包括:系统界面接口,PID变化规律模块,所述PID变化规律模块包括保存PID配置参数的结构体,用户自定义变化规律模块,所述用户自定义变化规律模块包括保存...
- 徐华王巍李垒
- 文献传递
- 面向半导体制造设备功能仿真的参数变化规律模拟系统
- 本发明提出一种面向半导体制造装备功能仿真的运行参数变化规律模拟系统,包括:系统界面接口,PID变化规律模块,所述PID变化规律模块包括保存PID配置参数的结构体,用户自定义变化规律模块,所述用户自定义变化规律模块包括保存...
- 徐华王巍李垒
- 文献传递
- 面向半导体制造装备功能仿真的通信协议模式配置方法
- 本发明提出一种面向半导体制造装备功能仿真的通信协议模式配置方法,包括以下步骤:将数字IO端口配置为布尔类型通信协议,将模拟IO端口配置为数值类型通信协议,将串口端口、以太网端口和DeviceNet端口配置为字符串类型通信...
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- 传输矩阵法分析各向异性介质微带线色散特性
- 2011年
- 从电磁场切向分量的通解形式出发,提出一种求解电磁场传输矩阵的新算法。分析了微带线色散特性与各向异性介质参数之间的关系,得出以下结果,在频率为20 GHz时,介电常数张量ε和磁导率张量μ中的矩阵元对微带线色散特性的影响从大到小的顺序为ε2,μ1,ε1,μ2,μ3和ε3。进一步分析表明,选择合适的介质参数,不同介质衬底的微带线具有相同的色散特性。
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- 关键词:色散各向异性微带线传输矩阵
- 并行化仿真多线程管理方法
- 本发明提出一种并行化仿真多线程管理方法,包括以下步骤:将所有通讯方式实例为通讯对象分别用一个线程承载;对所述所有通讯对象的接收和发送方法进行多线程管理;将所有设备类实例为设备对象;对所述设备对象命令的解析,动作的执行,条...
- 徐华王巍高士云李垒