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王汉
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清华大学深圳研究生院
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相关领域:
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合作作者
向东
清华大学深圳研究生院
牟鹏
清华大学深圳研究生院
刘学平
清华大学深圳研究生院先进制造学...
段广洪
清华大学深圳研究生院
徐强
清华大学深圳研究生院先进制造学...
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一种用于工艺喷嘴的热循环保温装置及工艺喷嘴
一种用于工艺喷嘴的热循环保温装置,包括:一腔体、上梳状挡流板和下梳状挡流板;腔体内设一换热腔室,上梳状挡流板包括盖板和若干上挡流片,下梳状挡流板包括底板和若干下挡流片,下挡流片与上挡流片交错分布于换热腔室内,盖板的两端分...
刘学平
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向东
牟鹏
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一种用于芯片显影工艺的工艺喷嘴
本发明提供一种用于芯片显影工艺的工艺喷嘴,包括:喷嘴主体和挡流板;喷嘴主体包括一呈U型的主腔室,以及位于主腔室两侧且与主腔室相连通的显影液入口和显影液出口;挡流板的横截面呈T型,插装于主腔室,挡流板密封主腔室口部,挡流板...
刘学平
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一种显影喷嘴
一种显影喷嘴,包括相对设置的条形底座和上壳、以及若干喷液管,所述底座和上壳围成一个腔体,所述上壳设置给所述腔体供液的接嘴,所述底座设置连通所述腔体的若干阶梯状的通孔,所述若干喷液管分别安装在所述若干阶梯状的通孔内,喷液管...
刘学平
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一种尖嘴狭缝式出流结构工艺喷嘴
一种尖嘴狭缝式出流结构工艺喷嘴,包括喷嘴主体、喷嘴底板和挡板,喷嘴底板安装于喷嘴主体,喷嘴主体的法兰凸台与喷嘴底板的第一凹槽相配合;挡板安装于喷嘴底板,挡板的凸台与喷嘴底板的第二凹槽配合,喷嘴底板的挡流板与凸台之间形成狭...
刘学平
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一种用于工艺喷嘴的热循环保温装置及工艺喷嘴
一种用于工艺喷嘴的热循环保温装置,包括:一腔体、上梳状挡流板和下梳状挡流板;腔体内设一换热腔室,上梳状挡流板包括盖板和若干上挡流片,下梳状挡流板包括底板和若干下挡流片,下挡流片与上挡流片交错分布于换热腔室内,盖板的两端分...
刘学平
王汉
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一种用于芯片显影工艺的工艺喷嘴
本发明提供一种用于芯片显影工艺的工艺喷嘴,包括:喷嘴主体和挡流板;喷嘴主体包括一呈U型的主腔室,以及位于主腔室两侧且与主腔室相连通的显影液入口和显影液出口;挡流板的横截面呈T型,插装于主腔室,挡流板密封主腔室口部,挡流板...
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集成式出射流道结构工艺喷嘴
一种集成式出射流道结构工艺喷嘴,包括设有容置槽的喷嘴主体以及设有出射流道的第一板体,第一板体和喷嘴主体相对设置将所述容置槽封闭形成一个腔体,喷嘴主体设有连通所述腔体的供液通道,其中,所述第一板体侧立设置,所述出射流道包括...
刘学平
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集成式出射流道结构工艺喷嘴
一种集成式出射流道结构工艺喷嘴,包括设有容置槽的喷嘴主体以及设有出射流道的第一板体,第一板体和喷嘴主体相对设置将所述容置槽封闭形成一个腔体,喷嘴主体设有连通所述腔体的供液通道,其中,所述第一板体侧立设置,所述出射流道包括...
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一种具有均压流道的均匀出流显影喷嘴
一种具有均压流道的均匀出流显影喷嘴,包括:喷嘴主体,该喷嘴主体内部设有进液流道、均压流道以及出射流道;开有一狭缝的矩形导流板,该矩形导流板装于所述进液流道下端的法兰部,所述进液流道通过该矩形导流板的狭缝过渡到所述均压流道...
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一种尖嘴狭缝式出流结构工艺喷嘴
一种尖嘴狭缝式出流结构工艺喷嘴,包括喷嘴主体、喷嘴底板和挡板,喷嘴底板安装于喷嘴主体,喷嘴主体的法兰凸台与喷嘴底板的第一凹槽相配合;挡板安装于喷嘴底板,挡板的凸台与喷嘴底板的第二凹槽配合,喷嘴底板的挡流板与凸台之间形成狭...
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