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王汉

作品数:23 被引量:15H指数:2
供职机构:清华大学深圳研究生院更多>>
发文基金:国家科技重大专项更多>>
相关领域:机械工程文化科学水利工程石油与天然气工程更多>>

文献类型

  • 20篇专利
  • 3篇期刊文章

领域

  • 3篇机械工程
  • 2篇文化科学
  • 1篇化学工程
  • 1篇石油与天然气...
  • 1篇水利工程

主题

  • 16篇喷嘴
  • 9篇显影液
  • 8篇显影
  • 7篇喷涂
  • 7篇狭缝
  • 6篇电路
  • 6篇电路芯片
  • 6篇芯片
  • 6篇流道
  • 6篇集成电路
  • 6篇集成电路芯片
  • 3篇主流道
  • 3篇复数
  • 2篇蛇形
  • 2篇射流
  • 2篇输运
  • 2篇通孔
  • 2篇凸台
  • 2篇喷涂作业
  • 2篇热交换

机构

  • 23篇清华大学
  • 2篇中国人民解放...

作者

  • 23篇王汉
  • 22篇向东
  • 21篇牟鹏
  • 21篇刘学平
  • 19篇段广洪
  • 14篇徐强
  • 2篇瞿德刚
  • 2篇刘楠
  • 1篇刘睿

传媒

  • 2篇机械工程学报
  • 1篇机械设计与制...

年份

  • 1篇2017
  • 6篇2016
  • 1篇2015
  • 8篇2014
  • 6篇2013
  • 1篇2012
23 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种用于工艺喷嘴的热循环保温装置及工艺喷嘴
一种用于工艺喷嘴的热循环保温装置,包括:一腔体、上梳状挡流板和下梳状挡流板;腔体内设一换热腔室,上梳状挡流板包括盖板和若干上挡流片,下梳状挡流板包括底板和若干下挡流片,下挡流片与上挡流片交错分布于换热腔室内,盖板的两端分...
刘学平王汉向东牟鹏段广洪
文献传递
一种用于芯片显影工艺的工艺喷嘴
本发明提供一种用于芯片显影工艺的工艺喷嘴,包括:喷嘴主体和挡流板;喷嘴主体包括一呈U型的主腔室,以及位于主腔室两侧且与主腔室相连通的显影液入口和显影液出口;挡流板的横截面呈T型,插装于主腔室,挡流板密封主腔室口部,挡流板...
刘学平王汉向东牟鹏徐强段广洪
文献传递
一种显影喷嘴
一种显影喷嘴,包括相对设置的条形底座和上壳、以及若干喷液管,所述底座和上壳围成一个腔体,所述上壳设置给所述腔体供液的接嘴,所述底座设置连通所述腔体的若干阶梯状的通孔,所述若干喷液管分别安装在所述若干阶梯状的通孔内,喷液管...
刘学平王汉向东牟鹏段广洪
一种尖嘴狭缝式出流结构工艺喷嘴
一种尖嘴狭缝式出流结构工艺喷嘴,包括喷嘴主体、喷嘴底板和挡板,喷嘴底板安装于喷嘴主体,喷嘴主体的法兰凸台与喷嘴底板的第一凹槽相配合;挡板安装于喷嘴底板,挡板的凸台与喷嘴底板的第二凹槽配合,喷嘴底板的挡流板与凸台之间形成狭...
刘学平徐强王汉向东牟鹏段广洪
文献传递
一种用于工艺喷嘴的热循环保温装置及工艺喷嘴
一种用于工艺喷嘴的热循环保温装置,包括:一腔体、上梳状挡流板和下梳状挡流板;腔体内设一换热腔室,上梳状挡流板包括盖板和若干上挡流片,下梳状挡流板包括底板和若干下挡流片,下挡流片与上挡流片交错分布于换热腔室内,盖板的两端分...
刘学平王汉向东牟鹏段广洪
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一种用于芯片显影工艺的工艺喷嘴
本发明提供一种用于芯片显影工艺的工艺喷嘴,包括:喷嘴主体和挡流板;喷嘴主体包括一呈U型的主腔室,以及位于主腔室两侧且与主腔室相连通的显影液入口和显影液出口;挡流板的横截面呈T型,插装于主腔室,挡流板密封主腔室口部,挡流板...
刘学平王汉向东牟鹏徐强段广洪
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集成式出射流道结构工艺喷嘴
一种集成式出射流道结构工艺喷嘴,包括设有容置槽的喷嘴主体以及设有出射流道的第一板体,第一板体和喷嘴主体相对设置将所述容置槽封闭形成一个腔体,喷嘴主体设有连通所述腔体的供液通道,其中,所述第一板体侧立设置,所述出射流道包括...
刘学平徐强王汉向东牟鹏段广洪
集成式出射流道结构工艺喷嘴
一种集成式出射流道结构工艺喷嘴,包括设有容置槽的喷嘴主体以及设有出射流道的第一板体,第一板体和喷嘴主体相对设置将所述容置槽封闭形成一个腔体,喷嘴主体设有连通所述腔体的供液通道,其中,所述第一板体侧立设置,所述出射流道包括...
刘学平徐强王汉向东牟鹏段广洪
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一种具有均压流道的均匀出流显影喷嘴
一种具有均压流道的均匀出流显影喷嘴,包括:喷嘴主体,该喷嘴主体内部设有进液流道、均压流道以及出射流道;开有一狭缝的矩形导流板,该矩形导流板装于所述进液流道下端的法兰部,所述进液流道通过该矩形导流板的狭缝过渡到所述均压流道...
刘学平王汉徐强向东牟鹏段广洪
一种尖嘴狭缝式出流结构工艺喷嘴
一种尖嘴狭缝式出流结构工艺喷嘴,包括喷嘴主体、喷嘴底板和挡板,喷嘴底板安装于喷嘴主体,喷嘴主体的法兰凸台与喷嘴底板的第一凹槽相配合;挡板安装于喷嘴底板,挡板的凸台与喷嘴底板的第二凹槽配合,喷嘴底板的挡流板与凸台之间形成狭...
刘学平徐强王汉向东牟鹏段广洪
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共3页<123>
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