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牟鹏

作品数：103 被引量：161H指数：8
供职机构：清华大学机械工程学院机械工程系更多>>
发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：文化科学机械工程环境科学与工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 73篇专利
  • 28篇期刊文章
  • 2篇会议论文

领域

  • 9篇机械工程
  • 9篇文化科学
  • 5篇电子电信
  • 5篇环境科学与工...
  • 3篇一般工业技术
  • 2篇经济管理
  • 2篇化学工程
  • 2篇金属学及工艺
  • 2篇理学
  • 1篇石油与天然气...
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇水利工程
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇医药卫生

主题

  • 16篇回收
  • 14篇喷嘴
  • 13篇线路板
  • 11篇电路
  • 11篇喷涂
  • 11篇废旧
  • 9篇元器件
  • 9篇显影液
  • 8篇废品回收
  • 7篇雾化
  • 7篇狭缝
  • 7篇显影
  • 7篇芯片
  • 7篇精细化
  • 7篇基台
  • 7篇拆解
  • 7篇超声
  • 6篇电路芯片
  • 6篇振动
  • 6篇流道

机构

  • 103篇清华大学
  • 5篇中国人民解放...
  • 1篇重庆大学
  • 1篇天津理工大学
  • 1篇武汉第二船舶...
  • 1篇四川长虹电器...
  • 1篇北京市交通委...
  • 1篇沈阳拓荆科技...

作者

  • 103篇牟鹏
  • 97篇向东
  • 52篇段广洪
  • 50篇刘学平
  • 21篇王汉
  • 19篇杨旺
  • 17篇夏焕雄
  • 13篇龙旦风
  • 12篇徐强
  • 12篇瞿德刚
  • 12篇张瀚
  • 10篇汪劲松
  • 10篇沈岗
  • 10篇王伟
  • 9篇何磊明
  • 8篇高浪
  • 7篇张永凯
  • 7篇沈银华
  • 6篇谢宁
  • 6篇高建刚

传媒

  • 5篇机械工程学报
  • 3篇中国机械工程
  • 2篇振动与冲击
  • 2篇真空科学与技...
  • 2篇高教学刊
  • 1篇交通世界
  • 1篇制造业自动化
  • 1篇橡胶工业
  • 1篇现代制造工程
  • 1篇清华大学学报...
  • 1篇环境科学与技...
  • 1篇机械设计与研...
  • 1篇中国高教研究
  • 1篇人工晶体学报
  • 1篇半导体光电
  • 1篇中国制造业信...
  • 1篇实验科学与技...
  • 1篇日用电器
  • 1篇北京教育（德...
  • 1篇2006年全...

年份

  • 2篇2022
  • 3篇2018
  • 8篇2017
  • 17篇2016
  • 10篇2015
  • 17篇2014
  • 9篇2013
  • 10篇2012
  • 6篇2011
  • 10篇2010
  • 6篇2009
  • 1篇2008
  • 2篇2006
  • 2篇2004
共 103 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
面向元器件重用的废旧线路板拆解处理方法
面向元器件重用的废旧线路板拆解处理方法属于元器件回收再利用领域，其特征在于，根据线路板基板的类型和元器件的型号，先对无大量电解质电容的非耐高温元器件的线路板分别进行200℃以下的烘烤，去除非焊接方式连接的元器件，并导直待...
向东牟鹏汪劲松段广洪杨继平丁晓宇龙旦风
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集成式出射流道结构工艺喷嘴
一种集成式出射流道结构工艺喷嘴，包括设有容置槽的喷嘴主体以及设有出射流道的第一板体，第一板体和喷嘴主体相对设置将所述容置槽封闭形成一个腔体，喷嘴主体设有连通所述腔体的供液通道，其中，所述第一板体侧立设置，所述出射流道包括...
刘学平徐强王汉向东牟鹏段广洪
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用于工艺腔室的基台及其控制方法、托盘及其设计方法
本发明公开了一种用于工艺腔室的基台及其控制方法、托盘及其设计方法。其中所述托盘包括：绝缘隔热层，绝缘隔热层在同一平面上组成多个相互绝缘和/或隔热的子区域；多个子基底，多个子基底分别设置在多个相互绝缘和/或隔热的子区域中，...
向东夏焕雄杨旺牟鹏张瀚王伟刘学平
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一种可用于功率场空间分布精细控制的基台及控制方法
本发明涉及一种可用于功率场空间分布精细控制的基台及控制方法，属于化学气相沉积技术领域。在基台金属基底上设置若干个绝缘层，绝缘层将基台金属基底分成不同直径的环形或扇形区域；在基台金属基底内部、各绝缘层分隔的环形或扇形区域内...
向东杨旺夏焕雄张瀚王伟牟鹏刘学平
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用于模拟行星轮系的行星轮位置度误差的装置
本发明公开了一种用于模拟行星轮系的行星轮位置度误差的装置，包括：第一调节组件和第二调节组件，第一调节组件和第二调节组件分别设在行星轮的行星轮轴的两端；第一调节组件包括：第一固定模块和第一至第四调节杆，第一固定模块设在行星...
牟鹏姜京旼向东沈岗沈银华
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半导体制造中涂胶工艺的研究进展被引量：14
2012年
涂胶工艺过程质量的好坏直接影响到光刻工艺的质量,综述了旋转涂胶法和雾化喷涂法两种涂胶方法的工艺特点和研究进展,另外还对电沉积法、气相沉积法等工艺方法进行了简要介绍。对比了旋涂法、喷涂法和电沉积法等涂胶方法的工艺特点,并对不同涂胶工艺方法的应用场合进行了总结。
向东何磊明瞿德刚牟鹏段广洪
关键词：旋涂喷涂电沉积光刻工艺
一种显影喷嘴
一种显影喷嘴，包括相对设置的条形底座和上壳、以及若干喷液管，所述底座和上壳围成一个腔体，所述上壳设置给所述腔体供液的接嘴，所述底座设置连通所述腔体的若干阶梯状的通孔，所述若干喷液管分别安装在所述若干阶梯状的通孔内，喷液管...
刘学平王汉向东牟鹏段广洪
一种尖嘴狭缝式出流结构工艺喷嘴
一种尖嘴狭缝式出流结构工艺喷嘴，包括喷嘴主体、喷嘴底板和挡板，喷嘴底板安装于喷嘴主体，喷嘴主体的法兰凸台与喷嘴底板的第一凹槽相配合；挡板安装于喷嘴底板，挡板的凸台与喷嘴底板的第二凹槽配合，喷嘴底板的挡流板与凸台之间形成狭...
刘学平徐强王汉向东牟鹏段广洪
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家用电子酒柜
本发明提出一种家用电子酒柜，包括：柜体，柜体内限定有红酒保鲜室和红酒贮藏室，红酒保鲜室用于对已开封的红酒进行保鲜，红酒贮藏室用于对未开封红酒进行保鲜；门体，安装在柜体上以打开和关闭红酒保鲜室和红酒贮藏室；气压和出酒量调节...
向东刘学平杨旺高浪段传凯牟鹏
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采用热风加热和振动施力的废旧电路板拆解设备
本发明为属于废品回收再利用技术领域的一种采用热风加热和振动施力的废旧电路板拆解设备。拆解设备包括热风加热系统、传送系统、卡具、激振机构、扫刷机构、元器件送出网带和废气抽吸口，热风加热系统的高温区下热风箱出风口为双层筛板结...
向东龙旦风高浪段广洪张永凯谢宁牟鹏
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