肖志杰
- 作品数：8 被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国地质大学（北京）更多>>
- 相关领域：航空宇航科学技术建筑科学更多>>
- 一种供气均匀的等离子体刻蚀装置
- 一种供气均匀的等离子体刻蚀装置，包括反应腔室，其中相对且间隔地设置接地电极和射频电极，还设有气体供应装置，所述气体供应装置包括至少一根匀气管路，该匀气管路一端为进气口，另一端封闭，在该匀气管路的侧壁上设置多个出气孔；所述...
- 杨义勇肖志杰刘伟峰程嘉季林红韩传锟赵康宁
- 文献传递
- 一种供气均匀的等离子体刻蚀装置及其中的气体供应装置
- 一种供气均匀的等离子体刻蚀装置，包括反应腔室，其中相对且间隔地设置接地电极和射频电极，还设有气体供应装置，所述气体供应装置包括至少一根匀气管路，该匀气管路一端为进气口，另一端封闭，在该匀气管路的侧壁上设置多个出气孔；所述...
- 杨义勇肖志杰刘伟峰程嘉季林红韩传锟赵康宁
- 文献传递
- 一种可快速更换匀气方式的真空腔室
- 一种可快速更换匀气方式的真空腔室，是一包括腔筒、上盖（20）和下盖的腔体，在上盖（20）上设进气喷嘴（10），进气喷嘴连通一其下方的第一腔体构成第一布气室（160），第一布气室外壁与真空腔体内壁间构成第二布气室（170）...
- 杨义勇刘伟峰程嘉季林红肖志杰
- 文献传递
- 水质净化用溶液持续配比装置设计
- 2013年
- 在生活和工业用水中,硝酸盐、氨氮离子超标会严重危害到人们的身体健康。利用特定配比的溶液进行水质净化是检验水质净化设备性能的重要方法。针对当前溶液配比装置不能实现持续配比、操作繁琐、配比精度低等问题,利用LabVIEW软件控制技术,设计可持续进行溶液配比的装置,研制专用的控制软件,实现溶液的持续配比和输出。实验研究表明:溶液配比精度达到95%以上,水质净化结果符合要求,达到非常好的实验效果。
- 肖志杰王胜文赵康宁杨义勇
- 关键词：水质净化LABVIEW软件
- 一种可快速更换匀气方式的真空腔室
- 一种可快速更换匀气方式的真空腔室，是一包括腔筒、上盖（20）和下盖的腔体，在上盖（20）上设进气喷嘴（10），进气喷嘴连通一其下方的第一腔体构成第一布气室（160），第一布气室外壁与真空腔体内壁间构成第二布气室（170）...
- 杨义勇刘伟峰程嘉季林红肖志杰
- 文献传递
- 水质净化中溶液自动循环配比系统研制与实验研究
- 近年来,随着中国载人航天事业的发展,国家提出了建立在轨运行空间站的计划。空间站中所有资源都是循环利用的,尤其与航天员生命息息相关的空气和水,其中水循环设备能否稳定、可靠和高效的运行直接影响到航天员的正常生活。为了检测水循...
- 肖志杰
- 关键词：水质净化软件平台系统研制
- 文献传递
- 一种配置取放装置和调节工件的位置的半导体刻蚀装置
- 一种配置有工件取放装置的半导体刻蚀装置，包括腔室主体，还包括取放工件装置，所述的取放工件装置包括射频电极升降机构和取片视窗出口，射频电极升降机构包括螺旋传力机构和导向机构，螺旋传力机构中的螺母和螺杆与导向机构中的导柱和导...
- 杨义勇肖志杰刘伟峰程嘉季林红韩传锟赵康宁
- 文献传递
- 一种配置取放装置和调节工件的位置的半导体刻蚀装置
- 一种配置有工件取放装置的半导体刻蚀装置，包括腔室主体，还包括取放工件装置，所述的取放工件装置包括射频电极升降机构和取片视窗出口，射频电极升降机构包括螺旋传力机构和导向机构，螺旋传力机构中的螺母和螺杆与导向机构中的导柱和导...
- 杨义勇肖志杰刘伟峰程嘉季林红韩传锟赵康宁
- 文献传递
