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赵康宁

作品数：11 被引量：0H指数：0
供职机构：中国地质大学（北京）更多>>
相关领域：医药卫生建筑科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 10篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇建筑科学
  • 1篇医药卫生

主题

  • 5篇刻蚀
  • 4篇电极
  • 4篇调整装置
  • 2篇导套
  • 2篇导柱
  • 2篇等离子体
  • 2篇等离子体刻蚀
  • 2篇多晶
  • 2篇多晶硅
  • 2篇射频
  • 2篇石英
  • 2篇配气
  • 2篇配气系统
  • 2篇气体
  • 2篇密封
  • 2篇密封件
  • 2篇接地电极
  • 2篇精确控制
  • 2篇刻蚀工艺
  • 2篇滑动杆

机构

  • 11篇中国地质大学...

作者

  • 11篇杨义勇
  • 11篇赵康宁
  • 10篇季林红
  • 10篇程嘉
  • 6篇刘伟峰
  • 5篇肖志杰
  • 2篇王佳
  • 1篇王胜文

传媒

  • 1篇轻工机械

年份

  • 1篇2017
  • 4篇2016
  • 1篇2015
  • 2篇2014
  • 3篇2013
共 11 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种供气均匀的等离子体刻蚀装置及其中的气体供应装置
一种供气均匀的等离子体刻蚀装置，包括反应腔室，其中相对且间隔地设置接地电极和射频电极，还设有气体供应装置，所述气体供应装置包括至少一根匀气管路，该匀气管路一端为进气口，另一端封闭，在该匀气管路的侧壁上设置多个出气孔；所述...
杨义勇肖志杰刘伟峰程嘉季林红韩传锟赵康宁
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一种电极间距可调的离子反应腔室及电极间距调整装置
本发明涉及一种电极间距可调的等离子体反应腔室，包括腔室衬套、上盖和位于由所述腔室衬套、上盖构成的空腔内的电极，所述电极包括上电极和下电极，其特征在于，还包括电极间距调整机构，所述上电极包括气体分配部件、调整极板、和多晶硅...
杨义勇王佳赵康宁程嘉季林红
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一种多功能等离子体腔室处理系统
本发明涉及一种多功能等离子体腔室处理系统，其特征在于，包括CCP设备、ICP设备和配气系统，所述配气系统与所述CCP设备和ICP设备连接，用于将所述CCP设备及ICP设备内抽成真空，同时还用于向所述CCP设备及ICP设备...
杨义勇刘伟峰赵康宁季林红程嘉
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一种供气均匀的等离子体刻蚀装置
一种供气均匀的等离子体刻蚀装置，包括反应腔室，其中相对且间隔地设置接地电极和射频电极，还设有气体供应装置，所述气体供应装置包括至少一根匀气管路，该匀气管路一端为进气口，另一端封闭，在该匀气管路的侧壁上设置多个出气孔；所述...
杨义勇肖志杰刘伟峰程嘉季林红韩传锟赵康宁
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水质净化用溶液持续配比装置设计
2013年
在生活和工业用水中,硝酸盐、氨氮离子超标会严重危害到人们的身体健康。利用特定配比的溶液进行水质净化是检验水质净化设备性能的重要方法。针对当前溶液配比装置不能实现持续配比、操作繁琐、配比精度低等问题,利用LabVIEW软件控制技术,设计可持续进行溶液配比的装置,研制专用的控制软件,实现溶液的持续配比和输出。实验研究表明:溶液配比精度达到95%以上,水质净化结果符合要求,达到非常好的实验效果。
肖志杰王胜文赵康宁杨义勇
关键词：水质净化LABVIEW软件
等离子体反应腔室电极间隙调整装置及等离子体反应腔室
本发明涉及一种电极间隙调整装置，所述电极位于等离子体反应腔室内，所述电极包括上电极和下电极，其特征在于，包括上电极升降装置，所述上电极升降装置包括上固定板、升降板、下固定板、导向支撑杆、螺杆和滑动杆，所述上固定板和下固定...
杨义勇赵康宁程嘉季林红
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一种电极间距可调的等离子体反应腔室及电极间距调整装置
本发明涉及一种电极间距可调的等离子体反应腔室，包括腔室衬套、上盖和位于由所述腔室衬套、上盖构成的空腔内的电极，所述电极包括上电极和下电极，其特征在于，还包括电极间距调整机构，所述上电极包括气体分配部件、调整极板、和多晶硅...
杨义勇王佳赵康宁程嘉季林红
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一种配置取放装置和调节工件的位置的半导体刻蚀装置
一种配置有工件取放装置的半导体刻蚀装置，包括腔室主体，还包括取放工件装置，所述的取放工件装置包括射频电极升降机构和取片视窗出口，射频电极升降机构包括螺旋传力机构和导向机构，螺旋传力机构中的螺母和螺杆与导向机构中的导柱和导...
杨义勇肖志杰刘伟峰程嘉季林红韩传锟赵康宁
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一种配置取放装置和调节工件的位置的半导体刻蚀装置
一种配置有工件取放装置的半导体刻蚀装置，包括腔室主体，还包括取放工件装置，所述的取放工件装置包括射频电极升降机构和取片视窗出口，射频电极升降机构包括螺旋传力机构和导向机构，螺旋传力机构中的螺母和螺杆与导向机构中的导柱和导...
杨义勇肖志杰刘伟峰程嘉季林红韩传锟赵康宁
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离子体反应腔室电极间隙调整装置及离子体反应腔室
本发明涉及一种电极间隙调整装置，所述电极位于等离子体反应腔室内，所述电极包括上电极和下电极，其特征在于，包括上电极升降装置，所述上电极升降装置包括上固定板、升降板、下固定板、导向支撑杆、螺杆和滑动杆，所述上固定板和下固定...
杨义勇赵康宁程嘉季林红
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