侯茂盛
- 作品数：8 被引量：8H指数：2
- 供职机构：北京理工大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家重大科学仪器设备开发专项更多>>
- 相关领域：机械工程更多>>
- 一种轴向圆跳动和全跳动的单转位误差分离装置及方法
- 本发明涉及一种轴向圆跳动和全跳动的单转位误差分离装置及方法，属于微纳米超精密测量技术领域。本发明将轴向圆跳动、全跳动测量装置与误差分离系统有机地整合为一体，在误差分离过程中通过选择恰当的转位角α，使工件相对回转主轴进行相...
- 赵维谦侯茂盛邱丽荣
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- 一种基于空气静压轴承技术的大范围调倾调心工作台
- 本发明具体涉及一种基于空气静压轴承技术的大范围调倾调心工作台，属于精密测量技术领域。本发明的一种基于空气静压轴承技术的大范围高精度调倾调心装置，包括调倾平台、调倾平台座、调心平台、X向微位移发生器、Y向微位移发生器、Z向...
- 赵维谦侯茂盛邱丽荣王帆
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- 一种基于空气静压轴承技术的大范围调倾调心工作台
- 本实用新型具体涉及一种基于空气静压轴承技术的大范围调倾调心工作台，属于精密测量技术领域。本实用新型的一种基于空气静压轴承技术的大范围高精度调倾调心装置，包括调倾平台、调倾平台座、调心平台、X向微位移发生器、Y向微位移发生...
- 赵维谦侯茂盛邱丽荣王帆
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- 基于双频激光干涉反馈的快速精密定位系统被引量：5
- 2015年
- 为了实现大量程、高精度测量系统的快速驱动与定位,结合双频激光干涉仪、可回收废气的空气静压导轨、精密滚珠丝杆以及伺服控制系统,研制了一套定位精度高、重复性好的快速精密定位系统。该系统以双频激光干涉仪为测长基准,实时反馈系统工作台位置信息;采用余气回收式空气静压导轨克服了传统气浮导轨余气对激光干涉测量光路系统的影响;在定位过程中引入PID运动控制技术,通过调节伺服控制器的PI参数使系统拥有快速平稳的响应特性。经实验测试,在500mm行程范围内,该系统的轴线双向定位精度可以达到0.266μm,重复定位精度可以达到0.173μm,具有较好地快速响应特性。应用所研制的精密定位系统对一维直线光栅样品进行了扫描,并与用Olympus共焦显微镜测得的数据进行了比对,表明系统具备良好的轴向定位能力。
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- 关键词：光学测量双频激光干涉空气静压导轨PID控制
- 大口径非球面表面形状测量关键技术研究
- 针对目前大口径非球面元件的测量精度受限于仪器回转基准的空间回转运动误差，尤其是受限于轴向跳动等轴向回转运动误差的技术瓶颈，以及现有非球面元件的测量方法更无法兼顾高精度、大测量口径及非接触测量的技术现状，将单转位轴向空间回...
- 侯茂盛
- 关键词：过零触发
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- 大型球面非球面轮廓扫描测量方法与装置
- 本发明主要针对大型球面和非球面元件的面型及表面粗糙度等特征参数的精密检测，特别涉及一种可实时分离轴向端跳误差和X方向直线运动导轨误差的大口径球面和非球面轮廓扫描测量方法与装置，属于超精密测量技术领域。本发明基于回转基准空...
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- 基于气体润滑支承技术的大承载精密一维调整技术研究
- 2014年
- 为实现光学和机械测量中对大型被测件位姿的一维高精度测量和调整，发明研制了基于空气静压轴承技术的高精度大承载一维调整装置，并对该一维调整系统的调倾性能进行测定和研究。阐述了基于空气静压轴承技术的调倾工作台的构成及工作原理。利用三维空间坐标变换得到调倾操作的数学模型，并由此得出了驱动器位移与倾斜角度间的关系。采用光电自准直仪构建测量系统，得出基于空气静压轴承技术的大范围高精度工作台倾斜调整的分辨力。分析了测量系统的误差，给出调倾装置的性能评价。实验结果表明：在50kg负载下，调倾操作的分辨力为1．2″，倾斜调整范围± 1°。发明研制的系统满足光学和机械测量中对调整工作台的高精度、高分辨力、大调整范围、无摩擦、易驱动和高承载刚度等要求。
- 侯茂盛季林刘恩涛田艳荣马飞赵维谦
- 关键词：工作台
- 一种基于空气静压轴承技术的大范围调倾调心工作台
- 本发明具体涉及一种基于空气静压轴承技术的大范围调倾调心工作台，属于精密测量技术领域。本发明的一种基于空气静压轴承技术的大范围高精度调倾调心装置，包括调倾平台、调倾平台座、调心平台、X向微位移发生器、Y向微位移发生器、Z向...
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