赵维谦
- 作品数：565 被引量：330H指数：11
- 供职机构：北京理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重大科学仪器设备开发专项国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信理学更多>>
- 分光瞳差动共焦Raman-LIBS-质谱探测的飞秒激光加工监测方法
- 本发明涉及分光瞳差动共焦Raman‑LIBS‑质谱探测的飞秒激光加工监测方法，属于激光精密检测技术、飞秒激光加工监测技术领域，可用于飞秒激光加工与形态物性综合参数原位检测。本发明将分光瞳激光差动共焦轴向监测模块与飞秒激光...
- 赵维谦王允邱丽荣
- 文献传递
- 激光双轴共焦布里渊-拉曼光谱测量方法与装置
- 本发明属于显微光谱成像技术领域，涉及一种“图谱合一”的激光双轴共焦布里渊-拉曼光谱测量方法与装置。本发明将双轴共焦显微和光谱探测技术有机融合，利用瑞利光进行辅助探测，并结合拉曼光谱探测和布里渊光谱探测技术实现对系统高空间...
- 王允赵维谦邱丽荣
- 文献传递
- 球面惯性元件激光共焦曲率半径测量系统被引量：4
- 2019年
- 针对球面惯性元件散射特性导致其曲率半径测量难度大、精度低的问题,研制了一套球面惯性元件激光共焦曲率半径测量系统。系统通过针孔滤波降低探测器接收散射光的比例来抑制散射光的影响,利用共焦回馈技术提高返回光探测强度,以适应低反射率球面惯性元件的探测。采用共焦轴向光强响应曲线的峰值点精确对应物镜焦点的特性,对被测元件的猫眼和共焦位置进行精密定位,通过激光干涉仪获取两点间距离,继而实现曲率半径的高精度测量。以半球型动压气体轴承作为实验对象进行了实验。理论分析和实验结果表明,系统相对扩展不确定度优于20×10^-6,提出的测量系统为具有散射特性的球面惯性元件曲率半径的高精度测量提供了技术途径。
- 邱丽荣王超峰赵维谦
- 反射式共焦透镜焦距测量方法
- 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种反射式共焦透镜焦距测量方法。该方法通过共焦测量方法配合平面反射镜精确定位透镜表面顶点和焦点位置，进而测得透镜顶焦距及焦距。本发明首次提出通过共焦响应曲线最大值点对应被测透镜焦点和表...
- 邱丽荣杨佳苗赵维谦李雅灿李志刚
- 激光差动共焦拉曼光谱高分辨图谱成像技术进展被引量：1
- 2023年
- 激光共焦拉曼光谱技术由于具有分子指纹及层析成像特性,成为探索微观分子世界的重要手段;但受原理限制,现有激光共焦拉曼光谱技术的分辨力及图谱成像能力逐渐桎梏了其发展。近年来,围绕激光共焦拉曼光谱技术性能改善方面,本研究团队基于发明的超分辨激光差动共焦技术,提出了激光差动共焦拉曼图谱成像系列新方法和新技术。系统地介绍所提激光差动共焦拉曼图谱系列测量方法及仪器化研究进展,并对未来发展方向进行了评述和展望。
- 邱丽荣崔晗崔晗王允赵维谦
- 反射式差动共焦透镜焦距测量方法
- 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种反射式差动共焦透镜焦距测量方法。该方法通过差动共焦测量方法配合平面反射镜精确定位透镜表面顶点和焦点位置，进而测得透镜顶焦距及焦距。本发明首次提出通过差动共焦响应曲线过零点时对应被测...
- 邱丽荣杨佳苗赵维谦李佳吴华玲
- 文献传递
- 角振动校准装置研究被引量：7
- 2015年
- 为提升对惯性器件的动态性能评价能力,通过对被校传感器施加标准正弦角振动激励,精确测量角振动过程,实现了对角振动传感器的校准。基于不同频段的特点,将校准频段划分为低频和高频2部分,并提出空气轴承与无刷直流力矩电机相结合的低频角振动台方案,以及轻质空心杯精密空气轴承与框式电磁驱动结构相结合的高频角振动台方案;分别采用精密角度编码器和衍射光栅激光干涉仪实现对低频和高频角振动的测量,成功研制出频率范围为0.25~550Hz、角加速度范围为0.1~1 760rad/s2以及角速度波形失真小于2%的角振动绝对法校准装置。与德国国家物理技术研究院的角振动校准装置相比,该装置能够显著提升承载能力,可广泛用于惯性器件动态性能的测试与评价。
- 薛景锋彭军李新良赵维谦
- 关键词：校准激光干涉陀螺角加速度计
- 激光差动共焦图谱显微层析成像装置
- 本发明属于光学显微成像及光学精密测量技术领域，涉及一种激光差动共焦图谱显微层析成像装置，主要包括拉曼光谱分析部分(25)和沿光路依次放置的物镜(6)、偏振分光镜(7)、1/4玻片(8)、测量物镜(9)；还包括位于偏振分光...
- 赵维谦王允邱丽荣
- 文献传递
- 一种光刻机物镜掩膜照明条件下杂光系数测试装置
- 本发明涉及一种光刻机物镜掩膜照明条件下杂光系数测试装置，属于光电测试技术领域。本发明包括内置在积分球内的光源、放置在积分球出口光路上的掩膜板、掩膜板透射光路上的光刻物镜、以及中继光学系统、带牛角消光管、光电探测器的积分球...
- 周桃庚赵维谦张旭升沙定国何川陈凌峰林家明邱丽荣苏大图
- 文献传递
- 激光共焦干涉面形快速高精度自动测量
- 2024年
- 针对传统球面面形干涉测量中手动调整被测件姿态精度低、速度慢的问题,提出了激光共焦干涉面形快速高精度自动测量方法。该方法通过共焦精密定焦技术实现了对被测件共焦位置的高精度轴向定位;通过五维自动调整架对被测件进行姿态调整,实现了被测件的高精度横向定位;通过Zernike拟合对被测件进行精调以减小离焦误差和倾斜误差,实现了对干涉面形的零条纹调整。最终实现了激光共焦干涉面形自动测量。构建了激光共焦干涉面形测量系统,实验表明:该方法的面形测量结果与Zygo干涉仪的测量结果相差0.000 6λ,重复测量精度可达0.001 9λ,平均单次干涉面形测量时间为16.5 s,与手动调整至零条纹相比测量效率提高了1.56倍。该方法为干涉面形的快速高精度测量提供了一种有效的手段。
- 赵家豪杨帅杨铮崔健邱丽荣赵维谦
- 关键词：自动测量
