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庞师军

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第二研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇视觉系统
  • 1篇硅片

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇卫晓冲
  • 1篇庞师军
  • 1篇田娜

传媒

  • 1篇电子工艺技术

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
视觉系统在硅片检测上的应用被引量：1
2010年
机器视觉是利用机器代替人眼来做各种测量和判断。介绍了全自动硅片装片机中利用视觉系统对硅片的边缘进行检测,在线将有缺陷的硅片剔除,将完好的硅片送入下一个环节。大大降低了人工强度和碎片率,减少了人工与硅片的接触,避免了人为因素对硅片的污染,有效地提高了成品率。
田娜庞师军卫晓冲
关键词：硅片视觉系统
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