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卫晓冲

作品数：2 被引量：2H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第二研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 1篇视觉系统
  • 1篇硅片
  • 1篇硅

机构

  • 2篇中国电子科技...

作者

  • 2篇卫晓冲
  • 2篇田娜
  • 1篇庞师军
  • 1篇张峰

传媒

  • 1篇电子工艺技术
  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2011
  • 1篇2010
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
硅芯硅棒自动清洗设备的研制被引量：1
2011年
通过分析硅芯硅棒清洗方式的现状,提出其自动清洗设备研制的必要,介绍了全自动硅芯硅棒清洗机的技术参数和工艺流程,详细分析了设备的结构设计,包括工艺清洗系统、传动系统、电气控制系统、排风系统、管路系统和设备主体等。
卫晓冲张峰田娜
视觉系统在硅片检测上的应用被引量：1
2010年
机器视觉是利用机器代替人眼来做各种测量和判断。介绍了全自动硅片装片机中利用视觉系统对硅片的边缘进行检测,在线将有缺陷的硅片剔除,将完好的硅片送入下一个环节。大大降低了人工强度和碎片率,减少了人工与硅片的接触,避免了人为因素对硅片的污染,有效地提高了成品率。
田娜庞师军卫晓冲
关键词：硅片视觉系统
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共1页<1>
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