杜凯
- 作品数：4 被引量：11H指数：2
- 供职机构：西安电子科技大学机电工程学院更多>>
- 发文基金：陕西省自然科学基金陕西省科学技术研究发展计划项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 基于可编程逻辑控制器的MOCVD控制系统设计及研究
- MOVCVD/( Metal Organic Chemical Vapor Deposition/)是一种高质量的半导体材料生长技术,主要应用于半导体材料、纳米材料等材料生长领域。本项目来源为陕西省自然基金资助项目。针对...
- 杜凯
- 关键词：MOCVDPLCWINCC神经网络温度控制
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- GaN系半导体材料生长的MOCVD控制系统设计与实现被引量：1
- 2005年
- 针对MOCVD系统工艺及控制要求,设计了MOCVD控制系统。采用PLC作为核心控制器,负责各类输入输出信号的控制,进行数据处理,控制半导体材料生长。同时采用W inCC组态软件设计上位监控系统。经过近一年运行,MOCVD控制系统运行状况良好,控制系统具有高可靠性、抗干扰能力强、控制精度高等特点,满足系统控制要求,保证了材料生长顺利进行。
- 赵恒杜凯
- 关键词：可编程控制器温度控制
- 基于模糊预测的MOCVD温度控制方法被引量：3
- 2006年
- 为解决金属有机化合物化学气相淀积(MOCVD)设备温度控制的非线性、时变性以及大滞后等问题,给出了一种用模糊控制和预测控制相结合的复合控制方法.该模糊预测控制在模糊控制的基础上加入预测环节,通过增加相位超前减少时间滞后所带来的影响,准确预测温度变化趋势.与传统的控制方法相比较,具有算法简单,鲁棒性好的特点.仿真和试验表明,该方法有着较高的稳态精度和动态特性,在整个温度控制范围基本误差可达到1℃‰,有效改善了MOCVD系统温度的控制性能,对实际温度控制具有较好的指导意义.
- 过润秋赵恒杜凯
- 关键词：模糊预测控制温度控制
- 基于BP神经网络的MOCVD温度控制系统参数优化被引量：6
- 2006年
- 为解决MOCVD设备温度控制的非线性、时变性以及大时滞等问题,提出改进的基于误差反向传播算法(BP)的神经网络控制方法.在传统BP算法基础上附加一个使搜索快速收敛全局极小的惯性项,在微调权值修正量的同时也使学习避免陷入局部最小.该方法不仅具有自学习自适应能力,而且具有自调整比例因子功能.仿真和试验表明,神经网络控制器具有很强的鲁棒性、自学习功能和自适应解耦.在整个温度控制范围基本误差可达到1℃‰,有效的改善MOCVD系统温度的控制性能,对实际温度控制具有较好的指导意义.
- 赵恒过润秋杜凯
- 关键词：神经网络BP算法温度控制时滞
