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周有铮

作品数：6 被引量：3H指数：1
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 6篇感器
  • 6篇传感
  • 6篇传感器
  • 4篇压阻
  • 4篇微悬臂梁
  • 4篇微悬臂梁传感...
  • 4篇检测器件
  • 3篇压阻式
  • 2篇生化传感器
  • 2篇探测器
  • 2篇热性能
  • 2篇微机械
  • 2篇微机械结构
  • 2篇微加工
  • 2篇位置敏感探测...
  • 2篇绝热性能
  • 2篇绝缘体上硅
  • 2篇刻蚀
  • 2篇刻蚀工艺
  • 2篇机械结构

机构

  • 6篇清华大学
  • 1篇中国人民解放...

作者

  • 6篇周有铮
  • 5篇刘理天
  • 4篇王喆垚
  • 2篇庄志伟
  • 1篇李爱玲
  • 1篇汪超男

传媒

  • 1篇清华大学学报...

年份

  • 4篇2009
  • 1篇2007
  • 1篇2006
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
表面应力敏感型压阻微悬臂梁传感器的模拟被引量：3
2009年
为获得用于表面应力测量的压阻悬臂梁传感器的参数的优化方法,建立了有限元分析模型。通过将模拟结果与压阻理论结合,分析了表面应力作用下的压阻式微型悬臂梁传感器。建立了两层硅悬臂梁结构模型,在顶层硅内施加初始应力模拟表面应力。对仿真结果应力数据进行提取与计算,结合压阻系数,分析了n型硅压阻与p型硅压阻长度、宽度和位置等对微型悬臂梁传感器灵敏度的影响。结果表明:为获得较高灵敏度,n型硅压阻应做长,p型硅压阻应做短并安排在固定端。该文研究结果为悬臂梁生化传感器提供了设计参考。
汪超男李爱玲周有铮王喆壵刘理天
关键词：压阻掺杂表面应力
纳米结构微机械生化传感器
本发明公开了属于微加工技术及微型检测器件范围的一种纳米结构微机械生化传感器。该微机械生化传感器是在SOI硅片下层硅上的SOI硅基体制作微悬臂梁结构，在微悬臂梁结构上覆盖二氧化硅绝缘层，其上层为单晶硅制备的加热电阻，纳米材...
王喆垚周有铮庄志伟刘理天
文献传递
在SOI硅片上制造压阻式微悬臂梁传感器的方法
本发明公开了属于微加工技术和微型检测器件范围的一种在SOI硅片上制造压阻式微悬臂梁传感器的方法。其特征在于：所述传感器采用SOI(绝缘体上硅)硅片制备，即在所述SOI硅片的上层硅中制备单晶硅压阻敏感器件，采用硅的横向干法...
王喆垚周有铮刘理天
文献传递
硅压阻式微悬臂梁蛋白检测传感器
周有铮
关键词：微悬臂梁传感器压阻蛋白检测PIEZORESISTIVE
纳米结构微机械生化传感器
本发明公开了属于微加工技术及微型检测器件范围的一种纳米结构微机械生化传感器。该微机械生化传感器是在SOI硅片下层硅上的SOI硅基体制作微悬臂梁结构，在微悬臂梁结构上覆盖二氧化硅绝缘层，其上层为单晶硅制备的加热电阻，纳米材...
王喆垚周有铮庄志伟刘理天
文献传递
在SOI硅片上制造压阻式微悬臂梁传感器的方法
本发明公开了属于微加工技术和微型检测器件范围的一种在SOI硅片上制造压阻式微悬臂梁传感器的方法。其特征在于：所述传感器采用SOI(绝缘体上硅)硅片制备，即在所述SOI硅片的上层硅中制备单晶硅压阻敏感器件，采用硅的横向干法...
王喆垚周有铮刘理天
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