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王喆垚
作品数:
85
被引量:115
H指数:6
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清华大学
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刘理天
清华大学信息科学技术学院微电子...
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清华大学
宋崇申
清华大学
白玉兴
首都医科大学附属北京口腔医院
蔡坚
清华大学
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数模转换器
本发明提出一种数模转换器,包括:差分器,用于将输入电压与反馈电压相减,其中,输入电压为当前像素点与参考像素点输出电压的差值;积分器,用于对输入电压与反馈电压的差值积分;第一比较器,用于当积分器输出大于第一阈值电压时,反馈...
岳梦云
伍冬
王喆垚
文献传递
红外目标检测器的安全性测试方法和装置
本公开涉及一种红外目标检测器的安全性测试方法和装置,通过基于发热部件的红外图像,构建数字对抗补丁,并根据优化后的数字对抗补丁,确定物理对抗补丁,根据本公开实施例的物理对抗补丁可以有效对红外目标检测器进行攻击,从而对红外目...
王喆垚
朱小佩
胡晓林
李建民
用于耳廓的温度测量装置
本发明公开了一种用于耳廓的温度测量装置,包括嵌入体、固定端盖、可拆端盖、温度传感器、导热料以及信号无线传输电路,所述嵌入体具有沿所述嵌入体的轴向贯通所述嵌入体的容纳腔;所述固定端盖固定安装在所述嵌入体的一端且所述可拆端盖...
王喆垚
姜汉钧
文献传递
一种基于绝缘体上硅片的应力传感器芯片
本发明公开了属于高温力学测量以及集成电路制造、封装和测量技术领域的一种基于绝缘体上硅片的应力传感器芯片。在硅衬底上制作二氧化硅绝缘层,并在二氧化硅绝缘层上制作应力敏感元件层。其优点是传感器芯片可以测量全部6个方向的应力,...
王喆垚
田阔
潘立阳
胡朝红
王建锋
刘理天
文献传递
一种电路器件三维集成的方法
本发明公开了一种电路器件三维集成的方法,所述方法包括:在带有电路器件的第一衬底圆片的正面制造盲孔;将第一衬底圆片的正面与辅助圆片进行键合,将所述第一衬底圆片进行背面减薄处理,使所述盲孔开口形成通孔;以所述辅助圆片上的金属...
王喆垚
宋崇申
徐向明
刘理天
文献传递
无托槽隐形矫治微型测力系统的建立
被引量:8
2011年
目的建立无托槽隐形矫治微型测力实验平台,以测量矫治过程中牙齿的应力。方法开发基于硅衬底的应力传感器芯片,随后进行芯片减薄,并采用四点弯曲结构进行压阻系数标定,使用超薄的柔性电路板封装传感器芯片,引出信号,搭建完整的隐形矫治应力测量实验平台。结果制造完成的应力传感器芯片长7.0him、宽6.0mm、厚0.1mm,其上包括13个注入制造的单晶硅压阻应力敏感单元和4个标定单元;设计制造了基于多路选择电路的主测试电路板,搭建了完整的隐形矫治应力测量实验平台,通过压阻阻值的测量计算出13个测量单元位置所在的应力。结论建立了无托槽隐形矫治微型测力系统的实验平台,为精确测量矫治过程中牙齿的局部应力提供了方法。
任超超
白玉兴
王喆垚
张敏
关键词:
正畸保持器
正畸学
牙应力分析
隐形矫治器
表面应力测量SOI压阻悬臂梁传感器设计与优化
被引量:1
2006年
研究了基于SOI(silicononinsulator)工艺的压阻悬臂梁传感器的静态和动态特性,推导了其用于表面应力测量时灵敏度和分辨率的表达式.分析了各种参数对性能的影响,提出了参数设计与优化的流程.得到了一套灵敏度为-1·8×10-3m/N,分辨率为8·5×10-5N/m,弹性系数为0·023N/m,谐振频率为1·3×104Hz的设计参数.
庄志伟
王喆垚
刘理天
关键词:
MEMS
压阻
SOI
悬臂梁
传感器
一种热辐射探测器阵列及其制造方法
本发明实施例提供一种热辐射探测器阵列及其制造方法,包括第一热辐射吸收层、第二热辐射吸收层和温度敏感器件,以及信号处理电路层。连接温度敏感器件的平面金属互连位于两层热辐射吸收层的下方,实现背照式结构和透射的热辐射的反射和二...
王喆垚
文献传递
纳米结构微机械生化传感器
本发明公开了属于微加工技术及微型检测器件范围的一种纳米结构微机械生化传感器。该微机械生化传感器是在SOI硅片下层硅上的SOI硅基体制作微悬臂梁结构,在微悬臂梁结构上覆盖二氧化硅绝缘层,其上层为单晶硅制备的加热电阻,纳米材...
王喆垚
周有铮
庄志伟
刘理天
文献传递
一种金属凸点制造方法
本发明涉及MEMS和集成电路技术领域,本发明公开了一种金属凸点制造方法。本发明的金属凸点制造方法利用化学镀在惰性金属基底上制造金属凸点,将化学镀需要接触式诱导改变为非接触式诱导,通过金属诱导板与金属基底之间存在的一个较小...
王喆垚
杜玉欣
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