陈超
- 作品数：13 被引量：29H指数：4
- 供职机构：电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点实验室开放基金中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
- 相关领域：电子电信文化科学一般工业技术理学更多>>
- 氧化钒薄膜电阻伏安特性分析被引量：2
- 2008年
- 对氧化钒薄膜电阻的伏安特性进行了仿真分析,结合实测氧化钒薄膜Ⅰ-Ⅴ曲线,指出在器件的应用当中,首先应避免氧化钒薄膜电阻发生相变;在此基础上,对氧化钒薄膜电阻加恒流偏置时,存在端电压过低的问题;指出应该采用脉冲电流为氧化钒薄膜电阻提供偏置,这样既可以提高其端电压,以驱动下一级读出电路,又可以避免氧化钒薄膜电阻发生相变。
- 陈超蒋亚东吴志明
- 关键词：氧化钒伏安特性
- 非晶硅微测辐射热探测器的现状与发展被引量：1
- 2009年
- 基于非晶硅薄膜材料的微测辐射热探测器凭借其成本低、结构简单、可大规模生产等优势,在过去十几年间发展迅速,其焦平面阵列由最初的160×120小规模发展到目前的1024×768大规模,像元间距也由50μm减少到17μm。简要介绍了作为微测辐射热探测器的热敏电阻材料的优缺点,重点评述了具有代表性的非晶硅微测辐射热探测器的研究现状及发展趋势。
- 龚宇光李伟蒋亚东陈超蔡海洪李志
- 关键词：非晶硅阵列结构性能特点
- 公-自转磁控溅射镀膜系统薄膜沉积均匀性的研究被引量：13
- 2010年
- 研究了公-自转磁控溅射镀膜系统的机理。通过物理建模,使用交点采集和时间步长划分两种模型,分别计算模拟了矩形靶沉积时间的三维分布图,并讨论自转与公转转速比对沉积时间均匀性的影响。模拟结果表明:两种模型仿真结果一致,验证了理论模型的正确性。同时得到结论:此公-自转系统可以通过调节转速比的方法来改善薄膜厚度的均匀性,采用文中指定工艺参数,当转速比等于0.5的时候,薄膜厚度最均匀。仿真得到的偏差结果与实验较好的吻合。
- 于贺王涛吴志明蒋亚东陈超董翔靖红军
- 关键词：磁控溅射膜厚均匀性
- 热应力对非制冷红外焦平面微桥的影响及控制研究被引量：5
- 2011年
- 非制冷红外焦平面阵列的微桥结构在微加工工艺中,由于温度的剧烈变化,在薄膜中产生热应力而引起微桥的变形,将对器件产生不利影响。利用有限元分析方法,对微桥在热应力作用下产生的变形进行了分析,提出了两种控制热应变的途径:1)选择一种低热膨胀系数、低杨氏模量的电极材料;2)在电极材料的表面沉积一层SiNx薄膜。仿真结果表明,两种途径使微桥的最大形变值从1.4740μm分别减小到0.4799μm和0.0704μm,达到了减小热应变的目的。
- 王志许向东周东杨卓蒋亚东陈超
- 关键词：非制冷红外焦平面阵列热应力有限元分析微桥结构形变
- 基于三维有限元模型的微测辐射热计TCR及电学性能研究
- 2015年
- 微测辐射热计结构的电阻温度系数（TCR）及其电阻值对非致冷红外焦平面探测器的性能有极大影响。基于精确的微测辐射热计三维模型,采用热电偶合有限元方法,分析了其电学特性,针对所建立模型,加载0.5～10μA的直流偏置电流,得到各偏置下的温度及电势相应特性,并由此获取了不同温度下结构的电阻值,进而推导出一定温度内整个模型的TCR,从而为后端读出电路的设计提供参考。最后对实际制备的器件进行测试,验证了该方法的可靠性。
- 陈超马加锋蒋亚东王涛
- 关键词：微测辐射热计电阻温度系数
- GaN高电子迁移率晶体管中的介质薄膜技术
- 褚夫同陈超刘兴钊李言荣
- 双层红外微测辐射热计的微桥结构仿真被引量：4
- 2012年
- 非制冷红外探测器具有广阔的军事和民用前景。近年来,出现了一类性能优越的新型双层微测辐射热计型红外探测器。利用有限元分析方法和光学导纳矩阵法详细研究了两种类型的双层微测辐射热计的主要性能。结果表明,双层微测辐射热计的综合性能优于单层微测辐射热计。其中,双层S型结构的温升最优,但其力学稳定性较差,难以满足实践需要;双层U型结构的温升虽低于双层S型结构的温升,但明显优于单层微桥;重要的是,双层U型结构在光吸收性能、力学稳定性、器件制造等方面均优于双层S型结构。所以,双层U型结构的综合性能更优。还设计了一种综合性能更优的改进型双层U型结构。
- 杨卓许向东敖天宏王志樊泰君黄龙蒋亚东陈超
- 关键词：非制冷红外探测器有限元分析
- 非晶硅微测辐射热计热学和力学仿真研究被引量：5
- 2009年
- 通过理论计算及有限元方法仿真研究微测辐射热计的热学和力学性能,得出了微桥桥腿尺寸与微桥的热导、热时间常数、桥面温升以及由微桥自身重力引起的位移形变的关系;提出了为了兼顾较好的热学和力学性能,需要选取合适的微桥桥腿尺寸的观点。以像元尺寸50μm×50μm的微桥结构为例,选取了非晶硅微测辐射热计理论上的最佳桥腿尺寸,得到桥腿的热导值5.05×10-7W/K,热时间常数1.18ms,桥面温升34.71mK,最大位移形变量3.62×10-4μm。
- 龚宇光李伟蔡海洪李志陈超蒋亚东
- 关键词：非晶硅微测辐射热计有限元分析热学性能力学性能
- 非制冷红外焦平面微桥形变的主要原因及其控制被引量：1
- 2012年
- 微桥是微测辐射热计阵列像元的重要部分,经微细加工工艺制成的微桥结构常常发生弯曲变形,从而严重影响器件性能。利用有限元分析方法研究了造成微桥变形的原因。结果表明,重力导致的微桥形变值仅为1.44×10-5μm,而薄膜的本征应力导致的形变值却高达2.108μm,与实际观测值相当。因此,本征应力是造成微桥变形的主要原因。此外,还研究了本征应力梯度导致的形变,并提出了采用在电极的表面再沉积一层SiNx薄膜的方法,使桥腿的形变值由0.587μm明显地减小到0.271μm,有效地控制了本征应力梯度导致的桥腿变形。
- 樊泰君许向东王志敖天宏马淑敏黄龙杨卓蒋亚东陈超
- 关键词：形变有限元分析
- 基于有限元法的微测辐射热计热电性能研究被引量：2
- 2015年
- 采用有限元法针对微测辐射热计的热电耦合敏感机理进行研究。建立微测辐射热计精确三维有限元模型,采用动态热电有限元方法对器件的热电特性进行了分析,得到了其热电耦合场下的温度响应特性,并获取其热容、有效热时间常数和有效热导值等热学参数;采用该方法在微测辐射热计的设计阶段中,即可初步预判器件性能并为器件制备提供可靠的参考。所设计结构经流片验证,性能良好,且满足60Hz帧频成像要求。
- 陈超蒋亚东马加锋
- 关键词：微测辐射热计有限元分析
