黄新龙
- 作品数：5 被引量：32H指数：4
- 供职机构：中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程电气工程更多>>
- 若干微电子机械系统研制及相关LIGA工艺研究
- 随着MEMS传感器芯片在物理、化学、生物和医学等方面的广泛应用，相应的微加工工艺成为当前微系统技术的一个研究热点。MEMS微加工技术涉及微电子、材料、物理(力学及流体力学等)、化学、生物、机械学诸多学科领域，是多学科相互...
- 黄新龙
- 关键词：微加工工艺微电子机械系统光刻工艺
- MEMS引信部件LIGA制作工艺及其问题分析被引量：4
- 2008年
- 探讨了包括标准LIGA技术,UV-LIGA技术在内的MEMS引信部件的制作方法,给出了使用现有LIGA技术加工MEMS引信部件的流程、存在的问题以及解决方案,对MEMS引信设计提出了基于工艺制作的要求和思考。
- 吴志亮黄新龙朱继南张合
- 关键词：MEMS引信LIGA
- UV-LIGA技术制作微型螺旋形加速度开关被引量：14
- 2010年
- 微型加速度开关是用于空间飞行体中感受加速度并完成致动的重要惯性器件。本文采用UV-LIGA技术,结合SU-8厚胶工艺、微电铸工艺以及牺牲层技术,制作了微型螺旋形加速度开关。研究了牺牲层工艺、SU-8光刻技术以及螺旋形弹簧形变控制等微细加工的工艺细节;分析了多种牺牲层材料的特性,优选了与工艺相适应的Zn牺牲层体系,解决了微结构易脱落的工艺问题。通过优化微电铸工艺来减小金属膜层的内应力,优化牺牲层释放工艺来避免腐蚀过程对弹簧膜结构的冲击。实验结果表明,通过工艺优化可得到平整的微型螺旋形弹簧—质量块结构,螺旋弹簧厚度为20μm,质量块厚度达200μm,本文的工作可为大批量、低成本地研制微型加速度开关提供工艺基础。
- 黄新龙熊瑛陈光焱田扬超刘刚
- 关键词：UV-LIGA牺牲层技术
- 大高宽比、高线密度X射线透射光栅的制作被引量：8
- 2009年
- 利用电子束光刻、X射线光刻和微电镀技术,成功制作了面积为1 mm×1 mm,周期为300 nm,金吸收体厚度为1μm的用于X射线显微成像的透射光栅。首先,利用电子束光刻和微电镀技术在Si3N4薄膜上制作周期为300 nm,厚度为250 nm的高线密度光栅掩模;然后,利用X射线光刻和微电镀技术复制厚度为1μm,占空比接近1∶1,高宽比为7的X射线透射光栅。整个工艺流程充分利用了电子束光刻技术制作高分辨率图形和X射线光刻技术制作大高宽比结构的优点,实现了大高宽比、纳米尺度、侧壁陡直的X射线透射光栅的制作。
- 柳龙华刘刚熊瑛黄新龙陈洁李文杰田金萍田扬超
- 关键词：电子束光刻X射线光刻
- X射线成像椭球聚焦镜的设计与检测被引量：5
- 2008年
- 国家同步辐射实验室(NSRL)以Wiggler为入射光源,建设了高空间分辨X射线成像光束线和实验站。根据成像系统对照明光的要求,使用旋转椭球聚焦镜聚焦入射光,结合小孔和中心阻挡器,形成锥形空心光斑照射到样品上。本文对成像系统所需的旋转椭球聚焦镜的长轴和短轴等进行了计算,并对美国Xraida公司制作的旋转椭球聚焦镜进行了检测。实验结果表明旋转椭球聚焦镜满足X射线成像的设计要求,其衍射效率大于85%。
- 田金萍李文杰陈洁刘刚熊瑛柳龙华黄新龙田扬超
