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刘朝阳
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
兰州大学物理科学与技术学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
张弘
兰州大学物理科学与技术学院
贺德衍
兰州大学物理科学与技术学院
魏福林
兰州大学物理科学与技术学院
王兰喜
兰州大学物理科学与技术学院
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2010
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溅射法制备Mn-Zn铁氧体薄膜的磁性与微结构
被引量:3
2010年
以交替真空溅射的方法使用成分分别为MnFe2O4与ZnFe2O4的双靶制备了成分变化的系列Mn1-xZnxFe2O4铁氧体薄膜,衬底为Si(100)。薄膜的成分通过控制不同靶的溅射时间来进行调整。沉积态的薄膜呈非晶结构,在真空炉中以适当的温度对薄膜进行退火之后能够得到多晶Mn-Zn铁氧体薄膜。组成成分为Mn0.5Zn0.5Fe2O4的薄膜呈现了相对最高的饱和磁化强度。同时还研究了制备条件对薄膜结构与磁性的影响,如溅射氧分压,退火真空度,退火温度及薄膜厚度等等。制备的薄膜相对于块状材料具有较高的矫顽力,进而讨论了应力对薄膜矫顽力的影响。
张弘
刘朝阳
王兰喜
贺德衍
魏福林
关键词:
MN-ZN铁氧体
矫顽力
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