王楠
- 作品数：13 被引量：4H指数：1
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 步进投影光刻机
- 1．本外观设计产品的名称：步进投影光刻机。;2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于集成电路、半导体元器件、光电子器件的研发和制造。;3．本外观设计产品的设计要点：为产品整体形状。;4．最能表明本外观设计设计要点的图...
- 蒋薇王楠胡松
- 一种基于B样条的硅片表面形貌重构的方法
- 本发明提供一种基于B样条的硅片表面形貌重构的方法，该方法首先对输入的三角网格边界进行拟合，接着给出对边界曲线进行插值的曲面拟合，生成第一层B样条曲面，然后对上一层B样条曲面中误差超限的部分进行局部自适应细化拟合，如此反复...
- 王楠蒋薇严伟胡松
- 文献传递
- 一种光刻式的3D打印机
- 本发明公开了一种光刻式的3D打印机，属于光刻技术领域，包括：光源系统、图像系统、投影系统、机械系统、电控系统五个子系统。系统获取打印物体的三维模型数据，并按高度方向分解成厚度统一的薄层后，用图像系统生成每一薄层的曝光图形...
- 马驰飞周绍林王楠陈昌龙高洪涛陈铭勇严伟胡松
- 文献传递
- 光刻机智能控制系统设计被引量：4
- 2013年
- 随着光刻工艺要求的提升,光刻机自动化和智能化的要求程度越来越高。基于传统工控机的光刻机在很大程度上解决了这个问题,但该设计体积大,功耗高,震动大,且人机交互性不强,多路实时监控难以集成。鉴于此,设计了一种基于平板电脑的光刻机控制设备,该设备由平板工控机、图像采集卡和运动控制板卡构成,通过USB和串口进行通信。其中平板工控机以嵌入式处理器S3C2440作为核心,图像采集卡以FPGA芯片EP2C8Q208C8为核心,运动控制板卡以单片机AT89C52为核心。运行时,图像采集卡首先对视频图像进行预处理,接着将其传输至平板工控机进行数据处理和显示,用户通过控制终端进行操作,最后由运动控制卡完成相应的动作。该设备将现在流行的平板电脑技术与光刻机相结合,实现了光刻机的智能化控制和在线资源共享,使光刻机更加智能化和现代化。
- 王楠蒋薇严伟胡松
- 关键词：光刻机FPGAARM智能控制
- 一种光刻式的3D打印机
- 本发明公开了一种光刻式的3D打印机，属于光刻技术领域，包括：光源系统、图像系统、投影系统、机械系统、电控系统五个子系统。系统获取打印物体的三维模型数据，并按高度方向分解成厚度统一的薄层后，用图像系统生成每一薄层的曝光图形...
- 马驰飞王楠陈昌龙高洪涛陈铭勇严伟胡松
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- 一种基于自适应技术的二维平面采样方法
- 本发明涉及一种基于自适应技术的二维平面采样方法，首先使用均匀的稀疏网格进行一次采样，由评估算法对采样结果进行评价，得到具有不同频率范围的分区域，对各分区域的网格测量点进行替换；然后由新生成的网格对采样物体的表面进行二次采...
- 王楠蒋薇严伟胡松
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- 一种基于Agent的分布式智能光刻设备
- 本发明提供一种基于Agent的分布式智能光刻设备，该设备需集成到各种光刻设备中使用。实际使用时，本地工作站通过因特网远程访问技术访问远程服务器中的技术参数库，检索符合技术指标的各项参数，下载并自动加载到该设备中，实现对光...
- 王楠蒋薇严伟胡松
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- 一种用于光刻机的嵌入式远程通信及控制方法
- 本发明提供一种用于光刻机的嵌入式远程通信及控制方法，其基本过程如下：首先，在本地搭建一台Tomcat服务器，制作动态网页，存放光刻机的数据资源，客户端通过HTTP协议进行访问；在服务器上通过第二远程控制模块，与客户端通过...
- 陈昌龙唐小萍胡松马平王楠刘俊伯马驰飞何渝
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- 无掩膜光刻机
- 1．本外观设计产品的名称：无掩膜光刻机。;2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于生产集成电路，去除晶圆表面的保护膜。;3．本外观设计产品的设计要点：本外观设计产品的形状。;4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片...
- 王楠胡松赵立新王淑蓉陈铭勇其他设计人请求不公开姓名
- 文献传递
- 一种用于光刻机的嵌入式控制设备及控制方法
- 本发明提供一种用于光刻机的嵌入式控制设备及控制方法，该设备由嵌入式母板和单片机子板构成，两板之间通过串口进行通信，母版包括核心板和功能板，其中核心板包括存储器，微处理器，功能板包括触摸屏模块，USB设备模块，网络连接模块...
- 王楠蒋薇严伟胡松
- 文献传递
