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张一飞
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23
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中北大学
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相关领域:
电气工程
自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
李孟委
中北大学
刘秋慧
中北大学
王莉
中北大学
吴倩楠
中北大学
王楠
中北大学
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张一飞
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李孟委
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刘秋慧
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王莉
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王楠
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一种基于MEMS稳定平台与转台的多功能救护床
本发明涉及自动化和仪器仪表技术领域,具体涉及一种基于MEMS稳定平台与转台的多功能救护床,所述救护床包括可实现稳定平台功能及转台功能的床体,所述床体上设置有用于测量床体姿态数据的MEMS惯性器件、控制床体转动的电机组件、...
李孟委
张一飞
文献传递
一种直板型实用化射频MEMS开关
一种直板型实用化射频MEMS开关,主要结构由衬底、微波传输线、驱动电极、下电极、触点、上电极、固定锚点、空气桥、释放孔组成,微波传输线、驱动电极和下电极设置在衬底上,驱动电极位于上电极的下方,上电极为直板型结构,在上电极...
李孟委
刘秋慧
张一飞
吴倩楠
王莉
文献传递
一种直板型实用化射频MEMS开关
一种直板型实用化射频MEMS开关,主要结构由衬底、微波传输线、驱动电极、下电极、触点、上电极、固定锚点、空气桥、释放孔组成,微波传输线、驱动电极和下电极设置在衬底上,驱动电极位于上电极的下方,上电极为直板型结构,在上电极...
李孟委
吴倩楠
刘秋慧
张一飞
王莉
一种集成三轴转台功能及稳定平台功能的系统
本发明涉及自动化和仪器仪表技术领域,特别涉及一种集成三轴转台功能及稳定平台功能的系统,所述系统包括基础平台、用于测量基础平台姿态信息的惯性组件、接收惯性组件所发送的姿态信息并进行解算的电机控制电路、根据电机控制电路解算的...
李孟委
张一飞
一种集成三轴转台功能及稳定平台功能的系统
本实用新型涉及自动化和仪器仪表技术领域,特别涉及一种集成三轴转台功能及稳定平台功能的系统,所述系统包括基础平台、用于测量基础平台姿态信息的惯性组件、接收惯性组件所发送的姿态信息并进行解算的电机控制电路、根据电机控制电路解...
李孟委
张一飞
一种用于射频MEMS开关的封装方法
一种射频MEMS开关的封装方法,主要步骤为金属层的制作、封装帽的制作、金属键合和划片。所述封装帽本体为具有内凹腔结构的立方体结构,在封装帽本体的内凹腔壁上粘附金薄膜,可以防止微波信号以辐射的形式泄露,同时起到微波屏蔽的作...
李孟委
张一飞
王俊强
高跃升
王莉
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一种实用化射频MEMS开关的制造方法
本发明涉及MEMS器件制造领域,特别涉及实用化射频MEMS开关的制造方法。主要包括硅片清洗、高阻硅片表面氮化硅的生长、共面波导电镀、上电极极板电镀、铝制下拉电极的制作、牺牲层释放。采用本发明的技术方案制造的射频MEMS开...
李孟委
张一飞
刘秋慧
王俊强
王楠
王莉
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一种十字型单刀三掷开关
一种十字型的单刀三掷开关,主要结构由衬底、微波传输线、驱动电极、上电极、下电极、固定锚点和空气桥组成,微波传输线和驱动电极设置在衬底上,上电极为T型直板型结构,下电极采用带弹性梁的单触点、双触点、三触点,从力学方面讲,可...
李孟委
王楠
刘秋慧
张一飞
王威
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一种基于MEMS稳定平台与转台的多功能救护床
本实用新型涉及自动化和仪器仪表技术领域,具体涉及一种基于MEMS稳定平台与转台的多功能救护床,所述救护床包括可实现稳定平台功能及转台功能的床体,所述床体上设置有用于测量床体姿态数据的MEMS惯性器件、控制床体转动的电机组...
李孟委
张一飞
文献传递
一种用于射频MEMS开关的封装方法
一种射频MEMS开关的封装方法,主要步骤为金属层的制作、封装帽的制作、金属键合和划片。所述封装帽本体为具有内凹腔结构的立方体结构,在封装帽本体的内凹腔壁上粘附金薄膜,可以防止微波信号以辐射的形式泄露,同时起到微波屏蔽的作...
李孟委
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