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陈伟民
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3
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供职机构:
中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
翟其刚
中国科学院上海冶金研究所上海微...
俞光仪
中国科学院上海冶金研究所上海微...
徐林木
中国科学院上海冶金研究所上海微...
毛平天
中国科学院上海冶金研究所上海微...
陆新根
中国科学院上海冶金研究所上海微...
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1989
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MOCVD装置的微机控制
1989年
本文叙述了一个MOCVD装置的微计算机控制系统.控制系统包括微计算机接口、每一种气体质量流量控制、各种有机源的温度控制、射频加热感应器的温度控制、多通道气体开关和屏幕指示等.
翟其刚
徐林木
陈伟民
俞光仪
关键词:
MOCVD装置
微机
控制系统
微量水分测定中的几种方法和仪器的比较
对气体中微量水分测定的几种方法和仪器作了比较,讨论了微量水分测量与温度、压力和流量的关系。
毛平天
陆新根
陈伟民
关键词:
露点
使用单片微机的离子源弧流稳定系统
1991年
设计和制造一套使用单片微计算机的离子源弧流稳定系统,使用光纤传递信息以使高压与低压隔离,使得在低压侧用同一系统通过切换来控制直热式和间热式离子源,使之弧流稳定.达到的弧流稳定度优于±1%(F.S.)
翟其刚
俞光仪
徐林木
陈伟民
关键词:
光纤通信
单片机
离子源
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