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主题

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机构

  • 3篇中国科学院上...

作者

  • 3篇陈伟民
  • 2篇徐林木
  • 2篇俞光仪
  • 2篇翟其刚
  • 1篇陆新根
  • 1篇毛平天

传媒

  • 2篇应用科学学报
  • 1篇第七届全国湿...

年份

  • 1篇1998
  • 1篇1991
  • 1篇1989
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
MOCVD装置的微机控制
1989年
本文叙述了一个MOCVD装置的微计算机控制系统.控制系统包括微计算机接口、每一种气体质量流量控制、各种有机源的温度控制、射频加热感应器的温度控制、多通道气体开关和屏幕指示等.
翟其刚徐林木陈伟民俞光仪
关键词:MOCVD装置微机控制系统
微量水分测定中的几种方法和仪器的比较
对气体中微量水分测定的几种方法和仪器作了比较,讨论了微量水分测量与温度、压力和流量的关系。
毛平天陆新根陈伟民
关键词:露点
使用单片微机的离子源弧流稳定系统
1991年
设计和制造一套使用单片微计算机的离子源弧流稳定系统,使用光纤传递信息以使高压与低压隔离,使得在低压侧用同一系统通过切换来控制直热式和间热式离子源,使之弧流稳定.达到的弧流稳定度优于±1%(F.S.)
翟其刚俞光仪徐林木陈伟民
关键词:光纤通信单片机离子源
共1页<1>
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