您的位置： 专家智库 > >

蔡永康

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇钝化
  • 1篇气相
  • 1篇磷化铟
  • 1篇XPS
  • 1篇AFM
  • 1篇表面钝化

机构

  • 1篇中国科学院
  • 1篇香港中文大学

作者

  • 1篇陈维德
  • 1篇郭伟民
  • 1篇蔡永康

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇1999
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
气相和溶液多硫化物钝化InP表面的XPS和AFM研究被引量：2
1999年
利用X射线光电子谱和原子力显微镜研究经气相和溶液钝化的InP表面的化学健合、表面残余氧含量、表面刻蚀效应和粗糙度。结果表明 ,采用气相多硫化物钝化可以获得均匀、光滑和可重复的表面质量 。
陈维德蔡永康苏景隆郭伟民
关键词：表面钝化XPSAFM气相磷化铟钝化
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0