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周东海
作品数:
3
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供职机构:
江苏宏微科技股份有限公司
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合作作者
戚丽娜
江苏宏微科技股份有限公司
刘利峰
江苏宏微科技股份有限公司
张景超
江苏宏微科技股份有限公司
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双极晶体管
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绝缘栅双极晶...
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集电极
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机构
3篇
江苏宏微科技...
作者
3篇
张景超
3篇
刘利峰
3篇
戚丽娜
3篇
周东海
年份
1篇
2018
2篇
2016
共
3
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绝缘栅双极晶体管的背面结构
本实用新型涉及一种绝缘栅双极晶体管的背面结构,在硅片的背面间隔设有背面沟槽,背面沟槽的槽壁与水平面之间的夹角α在60~88°,在背面沟槽的沟槽底部及侧壁通过注入形成沟槽状的N+型场截止层及沟槽状的P+型集电极层,沟槽状的...
戚丽娜
周东海
井亚会
张景超
刘利峰
文献传递
绝缘栅双极晶体管的背面结构及其制作方法
本发明涉及一种绝缘栅双极晶体管的背面结构,在硅片的背面间隔设有背面沟槽,背面沟槽的槽壁与水平面之间的夹角α在60~88°,在背面沟槽的沟槽底部及侧壁通过注入形成沟槽状的N+型场截止层及沟槽状的P+型集电极层,沟槽状的N+...
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周东海
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绝缘栅双极晶体管的背面结构及其制作方法
本发明涉及一种绝缘栅双极晶体管的背面结构,在硅片的背面间隔设有背面沟槽,背面沟槽的槽壁与水平面之间的夹角α在60~88°,在背面沟槽的沟槽底部及侧壁通过注入形成沟槽状的N+型场截止层及沟槽状的P+型集电极层,沟槽状的N+...
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