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高永基
高永基
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2
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供职机构:
韩国生产技术研究院
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相关领域:
金属学及工艺
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合作作者
俞世勋
韩国生产技术研究院
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作者
2篇
俞世勋
2篇
高永基
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2014
1篇
2012
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半导体晶片全通导孔内的金属填充装置和利用该装置的填充方法
本发明旨在提供一种半导体晶片全通导孔内的金属填充装置和利用该装置的填充方法,其目的在于提供一种相对于现有电镀法工序更加简单、方便,可降低工序费用的半导体晶片全通导孔内的金属填充装置和利用该装置的填充方法。为此,本发明的金...
俞世勋
李昌祐
金准基
金祯汉
金哲熙
高永基
辛义善
半导体晶片全通导孔内的金属填充装置和利用该装置的填充方法
本发明旨在提供一种半导体晶片全通导孔内的金属填充装置和利用该装置的填充方法,其目的在于提供一种相对于现有电镀法工序更加简单、方便,可降低工序费用的半导体晶片全通导孔内的金属填充装置和利用该装置的填充方法。为此,本发明的金...
俞世勋
李昌祐
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金哲熙
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