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俞世勋
作品数:
4
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供职机构:
韩国生产技术研究院
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相关领域:
金属学及工艺
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合作作者
高永基
韩国生产技术研究院
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机构
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中文专利
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金属学及工艺
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半导体
2篇
半导体晶片
2篇
铜
机构
4篇
韩国生产技术...
作者
4篇
俞世勋
2篇
高永基
年份
1篇
2015
1篇
2014
1篇
2013
1篇
2012
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半导体晶片全通导孔内的金属填充装置和利用该装置的填充方法
本发明旨在提供一种半导体晶片全通导孔内的金属填充装置和利用该装置的填充方法,其目的在于提供一种相对于现有电镀法工序更加简单、方便,可降低工序费用的半导体晶片全通导孔内的金属填充装置和利用该装置的填充方法。为此,本发明的金...
俞世勋
李昌祐
金准基
金祯汉
金哲熙
高永基
辛义善
具有用于形成密闭空间的混合接合结构的铜部件及其接合方法
本发明提供了具有密闭空间的铜部件。该铜部件包括主体部和紧固装置。主体部包括由铜制造的上联接板,以及与上联接板联接的下联接板,下联接板由铜制造。在上联接板和下联接板之间形成有密闭空间,密闭空间填充有功能材料。在上联接板和下...
金準基
金锺勋
金祯汉
李昌祐
俞世勋
金哲熙
方政丸
高溶浩
文献传递
半导体晶片全通导孔内的金属填充装置和利用该装置的填充方法
本发明旨在提供一种半导体晶片全通导孔内的金属填充装置和利用该装置的填充方法,其目的在于提供一种相对于现有电镀法工序更加简单、方便,可降低工序费用的半导体晶片全通导孔内的金属填充装置和利用该装置的填充方法。为此,本发明的金...
俞世勋
李昌祐
金准基
金祯汉
金哲熙
高永基
辛义善
文献传递
具有用于形成密闭空间的混合接合结构的铜部件及其接合方法
本发明提供了具有密闭空间的铜部件。该铜部件包括主体部和紧固装置。主体部包括由铜制造的上联接板,以及与上联接板联接的下联接板,下联接板由铜制造。在上联接板和下联接板之间形成有密闭空间,密闭空间填充有功能材料。在上联接板和下...
金準基
金锺勋
金祯汉
李昌祐
俞世勋
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