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耿峰

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：上海市计量测试技术研究院更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文科技成果

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇镀膜
  • 1篇镀膜工艺
  • 1篇纳米
  • 1篇几何量
  • 1篇白光干涉
  • 1篇测量系统

机构

  • 1篇上海市计量测...

作者

  • 1篇刘芳芳
  • 1篇高婧
  • 1篇王丽华
  • 1篇雷李华
  • 1篇刘一
  • 1篇程涛
  • 1篇蔡潇雨
  • 1篇李源
  • 1篇傅云霞
  • 1篇耿峰
  • 1篇吴俊杰

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
微纳米几何量量值溯源的关键技术研究
李源雷李华程涛蔡潇雨高婧傅云霞刘芳芳王丽华刘一吴俊杰耿峰
国家质检总局"微纳米几何量量值溯源的关键技术研究"项目是针对中国半导体产业和先进制造业快速发展的需求、为了提高中国微纳米尺寸标准样板的计量与表征能力、建立中国的微纳米测量溯源标准而开展.在微纳米几何量测量和评价方法方面，...
关键词：
关键词：镀膜工艺
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共1页<1>
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