王毅
- 作品数：8 被引量：1H指数：1
- 供职机构：河北普兴电子科技股份有限公司更多>>
- 相关领域：化学工程经济管理自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 一种高纯碳化硅粉料品质的评价方法
- 本发明公开了一种高纯碳化硅粉料品质的评价方法。所述评价方法包括如下步骤：取高纯碳化硅粉料，采用测色装置测量其明度值L<Sup>*</Sup>及色度值a<Sup>*</Sup>和b<Sup>*</Sup>；将所得L<Sup...
- 王建江王毅高卫李召永赵丽霞吴会旺陈秉克
- 文献传递
- 一种高纯碳化硅粉料品质的评价方法
- 本发明公开了一种高纯碳化硅粉料品质的评价方法。所述评价方法包括如下步骤：取高纯碳化硅粉料，采用测色装置测量其明度值L<Sup>*</Sup>及色度值a<Sup>*</Sup>和b<Sup>*</Sup>；将所得L<Sup...
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- PVT法制备碳化硅用坩埚及调节坩埚温度场的方法
- 本发明提供了一种PVT法制备碳化硅用坩埚，属于晶体生长技术领域，包括底板；顶盖；以及至少两个筒体，同轴设置且由下至上依次排布，相邻两个筒体可拆卸连接，至少两个筒体组装成坩埚筒，且至少两个筒体的电阻率不完全相同；其中，位于...
- 高卫李召永王建江王毅赵丽霞吴会旺陈秉克
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- PVT法制备碳化硅用坩埚及调节坩埚温度场的方法
- 本发明提供了一种PVT法制备碳化硅用坩埚，属于晶体生长技术领域，包括底板；顶盖；以及至少两个筒体，同轴设置且由下至上依次排布，相邻两个筒体可拆卸连接，至少两个筒体组装成坩埚筒，且至少两个筒体的电阻率不完全相同；其中，位于...
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- 压力变送器连接装置及硅外延尾气处理器
- 本实用新型提供了一种压力变送器连接装置及硅外延尾气处理器，压力变送器连接装置包括三通连接管、压力变送器以及非反应气源，本实用新型实施例提供的压力变送器连接装置，通过设置压力变送器接口、气源接口以及尾气反应器接口，连通了压...
- 康达陈振魁许斌武王毅孟祥鹏
- 探讨设备完整管理体系的建立与实施被引量：1
- 2015年
- 本文详细阐述了设备完整性管理体系的建立与实施,以期能提供一些建议与参考。
- 王毅
- 高纯SiC粉料中杂质浓度的控制和测试
- 2020年
- 采用燃烧合成法制备碳化硅(SiC)粉料,调整氢气和氩气体积流量比以及高纯氯化氢气体体积流量,使氮、铝和钒浓度低于二次离子质谱仪的检测下限,硼和钛浓度接近检测下限。使用制备的高纯SiC粉料生长单晶,获得电阻率大于1×10^9Ω·cm的衬底,粉料达到高纯半绝缘水平。通过研究发现,增加氢气体积流量可以降低粉料中的氮浓度,并使氮浓度低于检测限1×10^16 cm^-3,但是氢气体积流量过高会加重坩埚损耗,影响坩埚寿命和工艺稳定性;高纯氯化氢气体可以降低粉料中硼、铝、钒和钛的浓度,但其体积流量不宜过大,否则会引入新的氮杂质;粉料的色度a^*值与氮浓度呈反比关系,利用分光色差仪测试色度a^*值判断粉料氮浓度高低。
- 高卫赵丽霞李召永王毅王毅
- 关键词：氯化氢
- 旋转清理器及废气处理装置
- 本实用新型提供了一种旋转清理器及废气处理装置，所述旋转清理器包括连接座、转轴、至少两个密封件、刮清件，连接座上设有贯穿的内孔；转轴穿设于内孔中、且与连接座转动连接，转轴的两端均伸出连接座，转轴的直径小于连接座的内孔的直径...
- 王毅陈振魁许斌武孟祥鹏康达
