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祝永丰
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沈阳仪表科学研究院有限公司
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合作作者
徐长武
沈阳仪表科学研究院有限公司
李颖
沈阳仪表科学研究院有限公司
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张治国
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作者
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刘沁
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祝永丰
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2009
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MEMS硅基压力敏感芯片生产技术研究
庞士信
唐慧
张治国
徐淑霞
李颖
刘沁
徐长武
郑东明
张纯棣
刘波
金琦
祝永丰
任务来源: 传感器是一种能感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件或装置,是过程自动控制系统和信息系统的关键基础元器件。而敏感芯片是传感器的核心部件。目前,发达国家已经将传感器技术列入涉及国家利益的敏感...
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