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文献类型

  • 1篇中文科技成果

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇压力敏感
  • 1篇压力敏感芯片
  • 1篇生产技术
  • 1篇生产技术研究
  • 1篇输出信号
  • 1篇芯片
  • 1篇硅基
  • 1篇核心部件
  • 1篇MEMS

机构

  • 1篇沈阳仪表科学...

作者

  • 1篇刘沁
  • 1篇金琦
  • 1篇张纯棣
  • 1篇刘波
  • 1篇庞士信
  • 1篇唐慧
  • 1篇张治国
  • 1篇郑东明
  • 1篇徐淑霞
  • 1篇李颖
  • 1篇徐长武
  • 1篇祝永丰

年份

  • 1篇2009
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
MEMS硅基压力敏感芯片生产技术研究
庞士信唐慧张治国徐淑霞李颖刘沁徐长武郑东明张纯棣刘波金琦祝永丰
任务来源:  传感器是一种能感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件或装置,是过程自动控制系统和信息系统的关键基础元器件。而敏感芯片是传感器的核心部件。目前,发达国家已经将传感器技术列入涉及国家利益的敏感...
关键词:
关键词:输出信号硅基核心部件
共1页<1>
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