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陈留根
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7
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供职机构:
电子科技大学
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相关领域:
理学
一般工业技术
自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
罗文博
电子科技大学
帅垚
电子科技大学
吴传贵
电子科技大学
潘忻强
电子科技大学
李杰
电子科技大学
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自动化与计算...
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一般工业技术
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理学
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机电耦合系数
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叉指换能器
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电晶体
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2篇
衬底
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传感
机构
7篇
电子科技大学
作者
7篇
陈留根
6篇
吴传贵
6篇
帅垚
6篇
罗文博
4篇
潘忻强
3篇
李杰
2篇
张万里
2篇
吴勤勤
年份
2篇
2019
1篇
2017
4篇
2016
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7
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一种全集成型风速传感器
本发明属于电子材料与元器件技术领域,提出了一种全集成型风速传感器。由基板、两个相同的超声波发生模块和两个相同的超声波接收模块构成。基板由Si衬底,Si衬底键合层和集成电路构成;超声波接收模块由接收Si柱,制备孔,方孔,上...
罗文博
陈留根
吴勤勤
俞玉澄
吴传贵
帅垚
张万里
一种多层结构的SAW器件及其制备方法
本发明涉及声表波器件制造领域,特别涉及一种多层结构的SAW器件及其制备方法。该多层结构的SAW器件,从上至下依次包括叉指换能器、压电单晶薄片和Diamond薄膜。压电单晶薄片厚度1‑10nm粗糙度1‑10nm,其上制备有...
帅垚
李杰
吴传贵
罗文博
陈留根
蒲诗睿
潘忻强
白晓圆
文献传递
一种热释电红外器件的制备方法
一种热释电红外器件的制备方法,包括:1)在热释电敏感材料的两个表面上均制备金属薄膜电极,作为上、下电极;2)在上电极表面制备红外吸收层;3)采用紫外激光直写技术对热释电敏感材料、上电极和红外吸收层进行切割,激光功率为0....
帅垚
吴传贵
罗文博
陈留根
潘忻强
白晓圆
文献传递
一种基于Si基的高频SAW器件及其制备方法
本发明涉及SAW器件制造领域,具体涉及一种基于Si基的高频SAW器件及其制备方法。该高频SAW器件为多层膜结构,从下至上依次包括Si基、高声速层、压电层和叉指换能器。Si基的背面设置有沟槽,从而使声表面波的传播局限在高声...
帅垚
李杰
吴传贵
罗文博
陈留根
蒲诗睿
潘忻强
白晓圆
文献传递
PZT-ITO/PVDF热释电复合材料与红外探测器研究
陶瓷/聚合物基热释电复合材料兼具陶瓷热释电系数高和聚合物热容小、介电常数低和柔韧性强等优点,是目前热释电材料领域国内外研究的热点。由于热释电复合材料的红外探测器制备工艺简单,成本低,其性能能够满足人体探测、安防监控等应用...
陈留根
关键词:
红外探测器
压电陶瓷
聚偏二氟乙烯
一种全集成型风速传感器
本发明属于电子材料与元器件技术领域,提出了一种全集成型风速传感器。由基板、两个相同的超声波发生模块和两个相同的超声波接收模块构成。基板由Si衬底,Si衬底键合层和集成电路构成;超声波接收模块由接收Si柱,制备孔,方孔,上...
罗文博
陈留根
吴勤勤
俞玉澄
吴传贵
帅垚
张万里
文献传递
一种多层结构的SAW器件及其制备方法
本发明涉及声表波器件制造领域,特别涉及一种多层结构的SAW器件及其制备方法。该多层结构的SAW器件,从上至下依次包括叉指换能器、压电单晶薄片和Diamond薄膜。压电单晶薄片厚度1‑10nm粗糙度1‑10nm,其上制备有...
帅垚
李杰
吴传贵
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