2024年11月27日
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帅垚
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143
被引量:7
H指数:1
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电子科技大学
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国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
一般工业技术
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合作作者
吴传贵
电子科技大学光电信息学院电子薄...
罗文博
电子科技大学光电信息学院电子薄...
张万里
电子科技大学光电信息学院电子薄...
潘忻强
电子科技大学光电信息学院电子薄...
王韬
电子科技大学
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一种三维堆叠结构的单晶薄膜忆阻交叉阵列制备方法
本发明涉及半导体存储器及其制造技术领域,具体涉及一种三维堆叠结构的单晶薄膜忆阻交叉阵列制备方法。本发明选用忆阻薄膜材料为单晶薄膜材料,采用聚合物进行晶圆键合,代替传统离子注入剥离法常用的SiO<Sub>2</Sub>亲水...
帅垚
潘忻强
吴传贵
罗文博
彭赟
乔石珺
张万里
文献传递
一种用于光互联的具有模斑转换功能的片上边缘耦合器
本发明属于集成光学领域,具体涉及一种用于光互联的具有模斑转换功能的片上边缘耦合器,用于光学器件边缘实现光互联,例如用于将光纤耦合到光学微环谐振器。本发明通过采用的的双层正反双锥的过渡结构,使得光场从包层向芯层脊形和平板层...
帅垚
乔石珺
高琴
罗文博
吴传贵
王韬
杨小妮
文献传递
一种集成温度传感器的微流道散热器
本发明属于一种微流道器件,具体涉及一种集成温度传感器的微流道散热器。包括微流道盒体、键合层、微流道盖体、冷却液入口、冷却液出口、微流道沟槽和温度传感器。本发明实现温度传感器在微流道散热器内部一体化集成,集成的温度传感器位...
王韬
王杰军
吴传贵
罗文博
帅垚
张万里
文献传递
一种用于单晶衬底的层分离方法
本发明涉及薄膜器件制造加工领域,具体为一种用于单晶衬底的层分离方法。本发明采用质量小、穿透力强的荷能粒子,将荷能粒子在目标单晶衬底预设的剥离界面进行聚焦从而形成损伤层,该工艺剥离深度范围大且可控,且仅在聚焦点处形成相对较...
罗文博
杨杰
朱代磊
帅垚
吴传贵
张万里
一种基于绝缘体上材料的马赫-曾德型电光调制器及其制备方法
本发明公开了一种基于绝缘体上材料的马赫-曾德型电光调制器,属于集成光学领域。本发明公开的电光调制器结构包括:绝缘体上材料、调制电极和光波导;所述绝缘体上材料包括自下而上依次层叠的衬底层、键合层和薄膜层;调制电极贯穿薄膜层...
帅垚
乔石珺
罗文博
吴传贵
王韬
张万里
高琴
杨小妮
文献传递
基于单晶铌酸锂薄片的薄膜体声波谐振器及其制备方法
本发明涉及微电子器件领域,具体涉及一种基于单晶铌酸锂薄片压电材料的薄膜体声波谐振器,以及该谐振器的制备方法。本发明用于克服现有薄膜体声波谐振器机电耦合系数过低的缺陷,该薄膜体声波谐振器包括Si衬底,于Si衬底上形成的图形...
帅垚
李杰
罗文博
吴传贵
张万里
龚朝官
白晓圆
潘忻强
文献传递
一种柔性单晶薄膜及其制备与转移方法
本发明涉及薄膜制备技术,具体涉及一种柔性单晶薄膜及其制备与转移方法。本发明利用两片相同的单晶注入晶圆进行同质键合,然后高温退火以实现薄膜的剥离,制备出了中间一层为键合层,上下两层为相同薄膜层的三明治结构,所获得的柔性薄膜...
帅垚
龚朝官
白晓圆
罗文博
吴传贵
张万里
文献传递
一种单晶热释电薄膜多元红外传感器件的信号引出方法
本发明属于热释电线列器件的设计及微细加工领域,具体为一种单晶热释电薄膜多元红外传感器件的信号引出方法。本发明采用NiCr合金作为上电极和吸收层,将用于研究界面结构、材料分析的FIB聚焦离子束技术首次用于多元红外传感器件的...
罗文博
胡晨晓
赵泽彬
帅垚
吴传贵
张万里
一种热释电红外探测器及其制备方法
本发明属于电子材料与元器件技术领域,具体为一种热释电红外探测器及其制备方法。包括凹槽透光衬底、热释电层和键合层。本发明使用表面带有凹槽的透光衬底代替硅衬底,为使用常温、常压键合将衬底与单晶或陶瓷热释电敏感元进行集成提供了...
罗文博
孙杰西
吴传贵
帅垚
王韬
张开盛
文献传递
具有下电极保护层的空腔型体声波谐振器及其制备方法
本发明涉及声波谐振器制备技术领域,尤其是涉及一种具有下电极保护层的空腔型体声波谐振器及其制备方法;本发明的目的在于提供一种具有下电极保护层的空腔型体声波谐振器的制备方法及空腔型体声波谐振器,通过在下电极设置包裹下电极保护...
帅垚
罗文博
吴传贵
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