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邓茜

作品数：17 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 15篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 2篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 10篇光刻
  • 6篇宽光谱
  • 6篇光谱
  • 4篇自成像
  • 4篇光场
  • 4篇光场分布
  • 4篇光刻机
  • 4篇干涉图
  • 4篇场分布
  • 3篇光刻系统
  • 3篇硅片
  • 2篇调制度
  • 2篇手动
  • 2篇泰伯
  • 2篇泰伯效应
  • 2篇投影光刻
  • 2篇图像
  • 2篇限位
  • 2篇像素
  • 2篇像素点

机构

  • 17篇中国科学院
  • 2篇中国科学院大...

作者

  • 17篇邓茜
  • 16篇周毅
  • 15篇胡松
  • 15篇邓钦元
  • 14篇刘俊伯
  • 12篇赵立新
  • 7篇唐燕
  • 3篇杨勇
  • 2篇杨帆
  • 2篇田鹏
  • 2篇杜婧
  • 1篇严伟
  • 1篇李凡星

传媒

  • 1篇半导体技术
  • 1篇光学学报

年份

  • 1篇2018
  • 7篇2017
  • 8篇2016
  • 1篇2015
共 17 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于调制度的宽光谱微纳结构三维形貌检测方法
本发明是一种基于调制度的宽光谱微纳结构三维形貌检测方法，利用宽光谱照明光源，通过远心光学成像系统，透过Mirau干涉物镜使光线分为两束，一束反射到参考镜面，另一束透射到被测物体表面，最后两束光线发生干涉并通过光电耦合元件...
周毅邓钦元刘俊伯程依光邓茜唐燕杨勇胡松
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一种用于光刻系统的单倍双远心光刻投影物镜
本发明公开了一种用于光刻系统的单倍双远心光刻投影物镜，其采用了双远心结构，主要用于将光刻图案投射到所述投影物镜像平面内。该单倍双远心物镜包括从所述物平面沿光轴依次设置了共12片透镜，其中第1枚和第12枚透镜为负透镜，其余...
邓茜刘俊伯赵立新胡松司新春邓钦元周毅程依光
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基于数字微镜阵列制作不同深度的多台阶光栅的无掩模光刻机
本发明公开了一种基于数字微镜阵列制作不同深度的多台阶光栅的无掩模光刻机，包括：光源照明系统、DMD数字微镜阵列、投影光刻物镜、X-Y步进工作台、对准控制系统、X-Y精密步进工作台和计算机。光源发出的光束经光学系统扩束、准...
邓茜刘俊伯赵立新胡松司新春邓钦元周毅
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一种适用于大行程高精度白光干涉仪的扫描系统
本发明公开了一种适用于大行程高精度白光干涉仪的扫描系统，由光源(1)经准直透镜组(2)成为平行光束，通过分光棱镜(3)后被分成两束互相垂直的光束。其中一束光直接照射到试样(4)上，反射光被分光棱镜反射到成像物镜(7)上。...
姚靖威唐燕邓茜周毅邓钦元刘俊伯田鹏杨帆赵立新胡松
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基于紫外宽光谱自成像制备二维周期阵列的光刻方法及装置
本发明公开了一种基于紫外宽光谱自成像制备二维周期阵列的光刻方法及其装置，其特点是，当采用非单色紫外宽光谱照明周期掩模时，不同光谱和级次的自成像光场分布相互交错叠加，在掩模后一定距离范围内可形成连续可成像区域。本发明利用紫...
邓茜刘俊伯姚靖威程依光司新春邓钦元周毅赵立新胡松
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一种硅片传输手动机械手
本发明公开了一种硅片传输手动机械手，包括机械手座、升降旋转机构、取放片机构；机械手座为整个机械手的基座；升降旋转机构通过内部特殊结构，实现机械手的升降和旋转运动，其通过机械臂中轴与机械手座连接，机械臂中轴可在机械手座上调...
杜婧胡松刘俊伯周毅邓钦元邓茜
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一种适用于投影光刻机的实时调平系统及其调平方法
本发明公开了一种适用于投影光刻机的实时调平系统，由光源经第一、第二准直透镜组成为平行光束，通过投影光阑成为一道狭缝光束。狭缝光束经过第一成像镜组成像到硅片表面。从硅片表面反射的光束经第二、第三、第四成像镜组成像在线阵CC...
姚靖威邓茜刘俊伯程依光司新春邓钦元周毅赵立新胡松
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一种结合相移干涉与垂直扫描干涉的3D形貌恢复方法
本发明公开了一种结合相移干涉与垂直扫描干涉的3D形貌恢复方法，该方法通过上位机程序控制压电陶瓷微步距垂直扫描，每一步扫描采集的干涉图转换为数字信号后存储到计算机。采用极值法判别干涉图中每个像素点光强最大值的位置即为该像素...
谢仲业周毅陈楚怡邓钦元邓茜唐燕赵立新胡松
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一种基于紫外宽光谱泰伯自成像的光刻系统
本发明涉及一种基于紫外宽光谱泰伯自成像的光刻系统，该系统主要利用光学泰伯效应自成像原理，采用非单色紫外光照明周期掩膜时，不同光谱、不同级次的自成像光场相互交错、非相干叠加，在掩膜下方一定后方距离形成连续可成像区域。本发明...
姚靖威刘俊伯邓茜程依光司新春邓钦元周毅赵立新胡松
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一种单筒光场显微镜
本发明公开了一种单筒光场显微镜，用于对标本单次曝光后，进行重聚焦成像以及三维成像。本发明的单筒光场显微采用远场校正物镜，在一次像面出插入微透镜阵列与CMOS成像器件组合成光场传感器，对光场进行采集。通过一次曝光采集、记录...
杨帆严伟田鹏李凡星彭伏平周毅邓钦元邓茜
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