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姜春香
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2
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机电部
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相关领域:
金属学及工艺
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合作作者
王香泉
机电部
丁丽
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王利杰
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姜春香
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1994
1篇
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键合金丝断口分析
1993年
用扫描电镜和X射线能谱仪分析研究了半导体器件键合用金丝的断口。结果表明,金丝正常断口呈圆锥状,其缺陷断口有:外环层状断口、裂口、气孔、异金属夹杂、非金属夹杂、偏心、菠萝状断口、无塑性平断口等。国产键合金丝生产中拔丝断头过多,主要是由于气体、夹杂和毛坯表面粗糙等造成的。合理调整成份,采取措施切实提高冶金质量(净化金液、降低含气量、提高铸坯和粗丝表面质量等),是提高国产金丝质量和性能的关键。
齐芸馨
丁丽
王香泉
姜春香
王利杰
关键词:
金丝
断口分析
键合金丝
拔丝
键合金线透射电镜样品制备方法
1994年
前 言 键合金丝是集成电路的内引线材料,其性能的优劣直接影响了集成电路的质量。研究这种材料的组织状态与性能的关系是使其生产、使用自动化的必要途径。然而,键合金线的直径通常在φ20~60μm之间,这使得透射电镜薄膜样品的制备非常困难。本文就此薄膜样品的制备进行了研究。
王利杰
丁丽
王香泉
姜春香
齐芸馨
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