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彭晓曼

作品数：12 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院化学研究所更多>>
相关领域：化学工程电子电信医药卫生建筑科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇专利
  • 4篇会议论文

领域

  • 4篇化学工程
  • 3篇电子电信
  • 2篇医药卫生
  • 1篇建筑科学

主题

  • 10篇光刻
  • 6篇紫外光刻
  • 6篇光刻胶
  • 5篇组合物
  • 4篇羟基
  • 4篇抗反射
  • 4篇光刻工艺
  • 3篇涂料
  • 3篇涂料组合物
  • 2篇电子束光刻
  • 2篇旋涂
  • 2篇旋涂法
  • 2篇乙烯基
  • 2篇乙烯基醚
  • 2篇荧光
  • 2篇荧光材料
  • 2篇正性
  • 2篇三芳基
  • 2篇双酚
  • 2篇双酚A

机构

  • 12篇中国科学院

作者

  • 12篇杨国强
  • 12篇彭晓曼
  • 10篇王双青
  • 8篇袁华
  • 6篇郭旭东
  • 6篇许箭
  • 2篇李沙瑜

传媒

  • 1篇中国化学会第...
  • 1篇第十五届全国...

年份

  • 4篇2020
  • 1篇2019
  • 2篇2018
  • 2篇2017
  • 2篇2016
  • 1篇2015
共 12 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于含多羟基结构分子玻璃的底部抗反射涂料组合物及其在紫外光刻中的应用
本研究工作主要研制了一系列以新型含多羟基型分子玻璃化合物和两端及多端乙烯基醚类化合物为主要原料制备而成的底部抗反射涂层组合物。将该底部抗反射涂层涂于基底上,可有效降低光反射,减少反射光的散射造成的圆形缺口,从而在更小线宽...
彭晓曼王双青杨国强
关键词：紫外光刻
文献传递
化学放大胶组合物及其在紫外光刻的应用
本发明涉及一系列以四苯基呋喃、四苯基吡咯、四苯基噻吩、五苯基吡啶、四苯基双酚A、杯芳烃型双酚A为核的分子玻璃化合物为主体材料，辅以光致产酸剂、溶剂等组合而成的化学放大型光刻胶组合物。将该光刻胶组合物旋涂于基片上可制得厚度...
杨国强袁华彭晓曼王亚飞王亮乾许箭郭旭东王双青
文献传递
含双酚A骨架结构的分子玻璃光刻胶的制备方法
本发明涉及一种含双酚A骨架结构的分子玻璃光刻胶的制备方法。其以溶剂洗涤过滤纯化产品来代替硅胶色谱柱纯化产物，大大降低了后处理的复杂性，减少了后处理时间，同时也保护生产人员免受硅胶所带来的健康危害。并且该方法在保持纯度不变...
杨国强王亮乾袁华彭晓曼郭旭东王双青
文献传递
基于萘的三芳基硼类化合物的温度敏感型荧光材料
温度是最重要的基本物理参数之一,精确的温度测量有着重要意义。在课题组先前工作的基础上,本工作设计、合成了四种基于萘的三芳基硼化合物,并对研究了其光物理性质。在-50℃-100℃的温度范围内,随温度的升高,该类化合物的发光...
彭晓曼郭旭东杨国强
文献传递
一类硫鎓盐键合苯多酚型分子玻璃光刻胶及其制备方法和应用
本发明涉及一类硫鎓盐键合苯多酚型分子玻璃光刻胶及其制备方法和应用。所述硫鎓盐键合苯多酚型分子玻璃光刻胶是立体不对称的无定形小分子化合物，具有较高的熔点和玻璃化转变温度(熔点均高于100℃)，能够满足光刻技术要求，在高温烘...
杨国强袁华许箭彭晓曼王亮乾王双青
化学放大胶组合物及其在紫外光刻的应用
本发明涉及一系列以四苯基呋喃、四苯基吡咯、四苯基噻吩、五苯基吡啶、四苯基双酚A、杯芳烃型双酚A为核的分子玻璃化合物为主体材料，辅以光致产酸剂、溶剂等组合而成的化学放大型光刻胶组合物。将该光刻胶组合物旋涂于基片上可制得厚度...
杨国强袁华彭晓曼王亚飞王亮乾许箭郭旭东王双青
文献传递
基于萘的三芳基硼类化合物的温度敏感型荧光材料
温度是最重要的基本物理参数之一，精确的温度测量有着重要意义。在课题组先前工作的基础上，本工作设计、合成了四种基于萘的三芳基硼化合物，并对研究了其光物理性质。在-500℃-1OO℃的温度范围内，随温度的升高，该类化合物的发...
彭晓曼郭旭东杨国强
含双酚A骨架结构的分子玻璃光刻胶的制备方法
本发明涉及一种含双酚A骨架结构的分子玻璃光刻胶的制备方法。其以溶剂洗涤过滤纯化产品来代替硅胶色谱柱纯化产物，大大降低了后处理的复杂性，减少了后处理时间，同时也保护生产人员免受硅胶所带来的健康危害。并且该方法在保持纯度不变...
杨国强王亮乾袁华彭晓曼郭旭东王双青
基于含多羟基结构分子玻璃的底部抗反射涂料组合物及其在紫外光刻中的应用
本研究工作主要研制了一系列以新型含多羟基型分子玻璃化合物和两端及多端乙烯基醚类化合物为主要原料制备而成的底部抗反射涂层组合物。将该底部抗反射涂层涂于基底上，可有效降低光反射，减少反射光的散射造成的圆形缺口，从而在更小线宽...
彭晓曼王双青杨国强
关键词：紫外光刻
一类硫鎓盐键合苯多酚型分子玻璃光刻胶及其制备方法和应用
本发明涉及一类硫鎓盐键合苯多酚型分子玻璃光刻胶及其制备方法和应用。所述硫鎓盐键合苯多酚型分子玻璃光刻胶是立体不对称的无定形小分子化合物，具有较高的熔点和玻璃化转变温度(熔点均高于100℃)，能够满足光刻技术要求，在高温烘...
杨国强袁华许箭彭晓曼王亮乾王双青
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