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袁华

作品数:12 被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院化学研究所更多>>
相关领域:电子电信化学工程医药卫生理学更多>>

文献类型

  • 8篇专利
  • 4篇会议论文

领域

  • 4篇化学工程
  • 4篇电子电信
  • 1篇医药卫生
  • 1篇理学

主题

  • 10篇光刻
  • 8篇光刻胶
  • 6篇紫外光刻
  • 4篇极紫外
  • 4篇极紫外光刻
  • 4篇键合
  • 3篇组合物
  • 2篇单分子
  • 2篇电子束光刻
  • 2篇旋涂
  • 2篇旋涂法
  • 2篇乙烯基
  • 2篇乙烯基醚
  • 2篇荧光
  • 2篇荧光探针
  • 2篇正性
  • 2篇三芳基
  • 2篇双酚
  • 2篇双酚A
  • 2篇四苯基

机构

  • 12篇中国科学院

作者

  • 12篇杨国强
  • 12篇袁华
  • 10篇王双青
  • 8篇许箭
  • 8篇彭晓曼
  • 4篇郭旭东
  • 4篇李沙瑜

传媒

  • 1篇中国化学会第...
  • 1篇第十五届全国...

年份

  • 4篇2020
  • 1篇2019
  • 2篇2018
  • 2篇2017
  • 2篇2016
  • 1篇2015
12 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
化学放大胶组合物及其在紫外光刻的应用
本发明涉及一系列以四苯基呋喃、四苯基吡咯、四苯基噻吩、五苯基吡啶、四苯基双酚A、杯芳烃型双酚A为核的分子玻璃化合物为主体材料,辅以光致产酸剂、溶剂等组合而成的化学放大型光刻胶组合物。将该光刻胶组合物旋涂于基片上可制得厚度...
杨国强袁华彭晓曼王亚飞王亮乾许箭郭旭东王双青
文献传递
含双酚A骨架结构的分子玻璃光刻胶的制备方法
本发明涉及一种含双酚A骨架结构的分子玻璃光刻胶的制备方法。其以溶剂洗涤过滤纯化产品来代替硅胶色谱柱纯化产物,大大降低了后处理的复杂性,减少了后处理时间,同时也保护生产人员免受硅胶所带来的健康危害。并且该方法在保持纯度不变...
杨国强王亮乾袁华彭晓曼郭旭东王双青
文献传递
一类硫鎓盐键合苯多酚型分子玻璃光刻胶及其制备方法和应用
本发明涉及一类硫鎓盐键合苯多酚型分子玻璃光刻胶及其制备方法和应用。所述硫鎓盐键合苯多酚型分子玻璃光刻胶是立体不对称的无定形小分子化合物,具有较高的熔点和玻璃化转变温度(熔点均高于100℃),能够满足光刻技术要求,在高温烘...
杨国强袁华许箭彭晓曼王亮乾王双青
锍鎓盐键合的分子玻璃单分子光刻胶的合成与应用研究
在大规模和超大规模集成电路的制备中,光刻是一个重要的工艺过程,光刻的成本占整个芯片制造成本的40%。传统的化学放大光刻胶是由光刻胶主体材料、光致产酸剂、助剂和溶剂组成。通过系统设计,将分子玻璃主体材料与光致产酸剂锍鎓盐键...
王双青袁华杨国强
关键词:光刻胶极紫外光刻
化学放大胶组合物及其在紫外光刻的应用
本发明涉及一系列以四苯基呋喃、四苯基吡咯、四苯基噻吩、五苯基吡啶、四苯基双酚A、杯芳烃型双酚A为核的分子玻璃化合物为主体材料,辅以光致产酸剂、溶剂等组合而成的化学放大型光刻胶组合物。将该光刻胶组合物旋涂于基片上可制得厚度...
杨国强袁华彭晓曼王亚飞王亮乾许箭郭旭东王双青
文献传递
含双酚A骨架结构的分子玻璃光刻胶的制备方法
本发明涉及一种含双酚A骨架结构的分子玻璃光刻胶的制备方法。其以溶剂洗涤过滤纯化产品来代替硅胶色谱柱纯化产物,大大降低了后处理的复杂性,减少了后处理时间,同时也保护生产人员免受硅胶所带来的健康危害。并且该方法在保持纯度不变...
杨国强王亮乾袁华彭晓曼郭旭东王双青
基于疏水作用力包覆三芳基硼的纳米水凝胶选择性识别Cys/Hcy
基于Cys、Hcy、GSH不同的疏水作用力,我们设计了一种三芳基硼化合物HTBNM,将其浸泡于聚氨酯PU纳米水凝胶,选择性识别生物硫醇Cys/Hcy.HTBNM是硼原子周围连接有两个萘和一个三异丙基苯结构,并在萘上连接有...
袁华许箭李沙瑜杨国强
关键词:荧光探针
锍鎓盐键合的分子玻璃单分子光刻胶的合成与应用研究
在大规模和超大规模集成电路的制备中,光刻是一个重要的工艺过程,光刻的成本占整个芯片制造成本的40%。传统的化学放大光刻胶是由光刻胶主体材料、光致产酸剂、助剂和溶剂组成。通过系统设计,将分子玻璃主体材料与光致产酸剂锍鎓盐键...
王双青袁华杨国强
关键词:光刻胶极紫外光刻
文献传递
一类硫鎓盐键合苯多酚型分子玻璃光刻胶及其制备方法和应用
本发明涉及一类硫鎓盐键合苯多酚型分子玻璃光刻胶及其制备方法和应用。所述硫鎓盐键合苯多酚型分子玻璃光刻胶是立体不对称的无定形小分子化合物,具有较高的熔点和玻璃化转变温度(熔点均高于100℃),能够满足光刻技术要求,在高温烘...
杨国强袁华许箭彭晓曼王亮乾王双青
文献传递
基于疏水作用力包覆三芳基硼的纳米水凝胶选择性识别Cys/Hcy
基于Cys、Hcy、GSH不同的疏水作用力,我们设计了一种三芳基硼化合物HTBNM,将其浸泡于聚氨酯PU纳米水凝胶,选择性识别生物硫醇Cys/Hcy。HTBNM是硼原子周围连接有两个萘和一个三异丙基苯结构,并在萘上连接有...
袁华许箭李沙瑜杨国强
关键词:荧光探针
文献传递
共2页<12>
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