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陈沛
作品数:
42
被引量:16
H指数:2
供职机构:
北京工业大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
秦飞
北京工业大学机械工程与应用电子...
安彤
北京工业大学机械工程与应用电子...
宇慧平
北京工业大学机械工程与应用电子...
孙敬龙
北京工业大学机械工程与应用电子...
王仲康
北京工业大学
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一种大尺寸超薄晶圆的夹持装置
一种大尺寸超薄晶圆的夹持装置涉及半导体制造设备技术领域。其结构简单,操作方便。包括设备支撑底座、吸盘部分、提手部分和电机驱动部分。其特征在于:所述支撑底座位于吸盘边缘且可进行旋转;所述吸盘由二个腔室组成,腔室之间通过可旋...
秦飞
孙敬龙
安彤
陈沛
宇慧平
王仲康
唐亮
文献传递
刀具切削钛合金时的热力耦合仿真分析
本文通过ABAQUS热力耦合分析了刀具在切削钛合金时,刀具的受力情况,研究了在不同的切削深度以及不同的刀具前角的情况下,产生的应变能以及切削力的影响。结果表明:在切削速度和刀具前角一定的情况下,切削深度越大,产生的应变能...
吴坤洲
陈沛
关键词:
热力耦合
应变能
切削力
一种碳化硅MOSFET模块的封装结构和制作方法
本发明公开了一种碳化硅MOSFET模块的封装结构和制作方法,由碳化硅MOSFET芯片,上DBC基板,下DBC基板,陶瓷转接板,氧化硅介电填充层,纳米银焊膏,再布线层,过孔导电金属和功率端子组成。本发明通过纳米银焊膏将碳化...
秦飞
赵帅
代岩伟
陈沛
安彤
文献传递
一种用于可加热鼓泡法测试样力学性能的密封装置
本发明涉及一种用于可加热鼓泡法测试样力学性能的密封装置,通过该装置保证在鼓泡实验过程中可以变化实验温度,并且不会出现漏液现象,包括底座(101)、密封垫(102)、试样(103)、固定盖(104)、温度板(105)和保温...
张伟
陈沛
秦飞
文献传递
一种用于鼓泡法测小尺寸试样力学性能的密封装置
本发明公开了一种用于鼓泡法测小尺寸试样力学性能的密封装置,包括内六角螺栓A(101a)、内六角螺栓B(101b)、内六角螺栓C(101c)、内六角螺栓D(101d)、固定板(102)、试样(103)、亚克力板(104)、...
陈沛
张伟
秦飞
李旭东
文献传递
一种硅晶圆多步变参数粗磨削方法
一种硅晶圆多步变参数粗磨削方法,属于硅晶圆磨削加工领域。本发明包括下列步骤:将磨削力产生分为两个机制:摩擦作用力和切屑形成作用力;根据赫兹接触理论和切屑形成理论建立了磨削力模型F<Sub>nt</Sub>;实验测量了9种...
秦飞
孙敬龙
陈沛
安彤
文献传递
热像仪对QFN封装表面发射率环境透射率的标定
被引量:3
2017年
使用红外热像仪对未切割分离的QFN封装在40~200℃进行了塑封料面、铜面和"缝"表面发射率的标定,并分别利用上述三面对实验环境的空气透射率进行了标定。结果表明:直接计算法和直接调节法可以很好地应用于塑封料发射率标定,直接计算法可以应用在"缝"处、铜面发射率标定。塑封料发射率标定结果在0.97左右;"缝"处发射率标定值随着温度升高由0.17~0.35呈线性递增趋势变化;铜面发射率标定值随温度升高出现先稳定后增大趋势。塑封料面、铜及"缝"处对空气透射率标定值在100%左右,上下波动不超过2%。该实验结果可为红外热像仪测定QFN的使用温度及切割分离时的温度提供相应参数。
元月
宇慧平
秦飞
安彤
陈沛
关键词:
QFN封装
一种大尺寸磨削晶圆厚度在线测量方法
一种大尺寸磨削晶圆厚度在线测量方法,属于集成电路测试领域。将直铝片平铺在真空吸盘上,电容传感器沿铝片半径分布在铝片上方,电容检测装置通过屏蔽线与铝片和电容传感器相连接,形成回路系统,以检测电容量。然后,标定出电容传感器电...
秦飞
孙敬龙
安彤
陈沛
宇慧平
王仲康
唐亮
文献传递
一种用于鼓泡法测大尺寸试样力学性能的密封装置
本发明公开了一种用于鼓泡法测大尺寸试样力学性能的密封装置,该装置保证在鼓泡实验过程中不会出现漏液泄压现象,包括内六角螺栓A(101a)、内六角螺栓B(101b)、内六角螺栓C(101c)、内六角螺栓D(101d)、试样平...
陈沛
张伟
秦飞
李旭东
文献传递
一种大尺寸磨削晶圆表面腐蚀装置
一种大尺寸磨削晶圆表面腐蚀装置,属于半导体制造设备技术领域,其结构简单,操作方便。包括:支脚、回收槽、吸盘支架、吸盘、液体承载部分。回收槽上设有导轨、真空控制开关、废液排放口;吸盘支架内设抽真空管道;液体承载部分包括:滑...
秦飞
孙敬龙
安彤
陈沛
宇慧平
王仲康
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