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SiC薄膜生长过程中的偏压作用被引量：2: 2002年; 采用分步偏压溅射法，在Ｓｉ（１００）衬底上制备了高质量的ＳｉＣ薄膜．傅里叶红外（ＦＴＩＲ）光谱测试表明，分步偏压法不仅有利于提高ＳｉＣ薄膜的生长速率，同时也有利于ＳｉＣ薄膜的成核生长．通过原子力显微镜（ＡＦＭ）观察到，单一偏压法制备的样品表面有许多的凹坑，而分步偏压法制备的样品表面则没有出现明显的凹坑．因此，采用分步偏压溅射法不仅可以提高薄膜的生长速率，同时也可以减小对薄膜的离子刻蚀作用，改善薄膜的质量．; 王玫谭利文王波邹云娟严辉姚振宇; 关键词：SIC 碳化硅薄膜生长

分步偏压溅射法制备碳化硅薄膜被引量：1: 2000年; 采用分步偏压射频溅射法,通过调整衬底负偏压,在不加热的条件下成功的制备出具有一定结晶取向的sic薄膜,傅立叶红外谱的分析表明,随着衬底偏压的增大,吸收峰位于800cm-1附近Si-C键的数量增大.表明高能氩离子的轰击有利于立方相SiC(β-SiC)的形成.从傅立叶红外光谱SiC特征吸收峰的FWHM表明,采用分步偏压法制备的SiC薄膜,比采用一步偏压法制备的薄膜的质量好.从SEM测试结果表明,SiC薄膜均匀致密,表面比较光滑.同时,在不锈钢衬底上沉积了SiC薄膜,对其防氚性能的测试结果表明氚的渗透率显著下降.; 严辉谭利文宋雪梅王波陈光华姚振宇刘立明程业浩; 关键词：SIC

复合膜对316L不锈钢氚渗透性能的影响被引量：28: 2000年; 利用物理气相沉积(PVD)方法在316L不锈钢表面分别镀制微米量级厚的TiN+TiC+TiN、TiN+TiC+SiO2复合膜。扫描电镜观察表明:膜致密,与基体结合牢固,抗氧化,抗热冲击。二次离子质谱(SIMS)和红外光谱(IR)分析结果证实:TiC和SiO2膜在300℃以上的氢中退火可形成抗氚渗透阻挡层。测量了不同温度下氚在带膜316L中的渗透率。在200～600℃范围内,镀有TiN+TiC+SiO2膜的316L的氚渗透率比镀钯316L降低4～6个数量级,镀TiN+TiC+TiN膜比镀钯膜降低4～5个数量级。这两种膜可用于聚变堆技术研究中第一壁。; 姚振宇郝嘉琨周长善山常起; 关键词：复合膜聚变堆材料

聚变堆包层材料不同涂层的防氚渗透性能研究: 利用物理气相沉积/(PVD/)方法在316L不锈钢表面镀上微米量级厚的TiN、SiO2单层膜和TiN+TiC+TiN、TiN+TiC+SiO2复合膜。不同温度退火处理后，扫描电镜观察表明：膜致密、与基体结合牢固、抗氧化性...; 姚振宇; 关键词：物理气相沉积; 文献传递

用SiC薄膜作防氚渗透阻挡层的研究被引量：17: 2002年; 采用分步偏压辅助射频溅射法在 316L不锈钢表面制备SiC薄膜 ,作为聚变堆第一壁及包层结构材料的氚渗透阻挡层。扫描电镜观察表明 ,制备的膜致密、均匀 ,且与基体结合牢固。X射线衍射分析表明 ,膜具有(111)面择优取向的 β SiC微晶结构。傅里叶变换红外光谱分析发现 ,对应于 β SiC的Si C键存在伸缩振动吸收峰。采用中间复合过渡层技术 ,可以提高SiC膜与不锈钢基体的结合强度。测量了 5 0 0℃时带有SiC膜的 316L不锈钢的氚渗透率 ,与表面镀钯膜的 316L相比 ,氚渗透率减低因子 (PRF)值达到 10 4 以上。溅射时衬底偏压和射频功率要影响膜的结构 ,从而影响PRF值。根据分析结果 ,从不同的膜制备工艺中初步筛选出了合适工艺。; 姚振宇严辉谭利文韩华; 关键词：SIC薄膜射频溅射聚变堆

射频功率对SiC薄膜防氚渗透性能的影响: 本文采用偏压辅助射频溅射法,在高阻单晶硅(100)和316L不锈钢双面杯衬底上沉积SiC薄膜,研究了射频功率对SiC薄膜防氚渗透性能的影响.在不同射频功率下制备SiC薄膜,并测试了SiC薄膜的傅立叶红外光谱(FTIR)、...; 谭利文王玫王波宋雪梅陈光华严辉姚振宇; 关键词：SIC薄膜射频; 文献传递

薄片平衡法测定钠中碳活度: 1991年; 一、前言快中子反应堆(FBR)中,液态钠作为排放裂变热的冷却剂,具有别的冷却剂无可比拟的优点,但它仍有较大的缺点,主要是其化学活性极强,回路中高温流动的钠对不锈钢产生质量迁移作用,除金属组份外,还有碳迁移问题。回路不同部分,由于温度不同,碳的活度不同,活度差即是产生迁移驱动力的主要原因。全奥氏体钢回路中,高温区脱碳,低温区渗碳。奥氏体-铁素体钢回路中,铁素体钢脱碳,奥氏体钢渗碳。在碳迁移过程中。; 姚振宇; 关键词：钠渗碳

带热浸铝涂层MANETⅡ马氏体钢的氢渗透性能研究被引量：9: 2002年; 在 3 0 0～ 45 0℃温度范围内 ,分别在氢气相和液态铅锂合金相中 ,开展了带热浸铝涂层MANETⅡ马氏体钢的氢渗透性能研究。结果表明 ,实验所得到的氢渗透率减低因子 (PRF) ,在气相中为 62 0～2 63 ,在液态铅锂合金相中为 45～ 3 0。但仍然没有满足DEMO聚变堆的设计要求。涂层的自修复效应在 40 0℃以上是明显和有效的。从渗透通量与样品上游氢压的关系来看 ,涂层使得表面效应对渗透过程的影响很大。在上游小流量及在液态铅锂合金中鼓泡充氢可以导致渗透通量升高。扫描电镜和能谱分析 (SEM EDS)的结果表明 ,样品表面被液态铅锂合金所浸润的部分出现微裂纹 ,而未浸润部分没有出现微裂纹。微裂纹很肤浅 ,仅仅影响涂层的最外表面薄层 ,没有贯穿整个渗铝层而到达基体。未浸润表面的Al O原子比约为 2 3 ,浸润表面约为 1 1 ,表明液态铅锂合金对渗铝层表面的Al2 O3 薄层造成了损伤。总的看来 ,造成氢渗透阻挡层性能退化的原因 ,是涂层外表面与液态铅锂合金相互作用 ,以及涂层在升。; 姚振宇M.ChiniA.AielloG.Benamati; 关键词：聚变堆

SIMS微机数据采集与处理系统的研制及SIMS研究聚变堆包层S …: 1998年; 介绍了ＳＩＭＳ微机数据采集与处理系统的研制过程。以ＶｉｓｕａｌＣ＋＋和ＶｉｓｕａｌＢａｓｉｃ为基础，通过自行设计的软、硬件，可以控制ＶＧＥＳＣＡＬＡＢ５型多功能电子能谱仪进行ＳＩＭＳ的数据采集和处理工作。并且利用独特的硬件时序设计，实现了多任务数据采集和控制。利用自行设计的系统，与原子能所合作研究了聚变堆包层ＳｉＯ２和ＴｉＣ涂层的防氚渗透机理。; 施键姚振宇; 关键词：数据采集处理系统 SIMS

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姚振宇