李强
- 作品数：1 被引量：1H指数：1
- 供职机构：西安交通大学更多>>
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- 低接触电阻率Ni／Ag／Ti／Au反射镜电极的研究被引量：1
- 2015年
- 研究了Ag的厚度、退火时间、沉积温度对于Ni/Ag/Ti/Au电极的反射率及与p-Ga N欧姆接触性能的影响.利用分光光度计测量反射率,采用圆形传输线模型计算比接触电阻率.结果表明:随着Ag厚度的增加,Ni/Ag/Ti/Au电极的反射率逐渐增大;在氧气氛围中,随着退火时间从1 min增至10 min,300°C退火时,比接触电阻率持续下降,而对于400—600°C退火,比接触电阻率先减小后增大;在300和400°C氧气中进行1—10 min的退火后,Ni/Ag/Ti/Au的反射率变化较小,退火温度高于400°C时,随着退火时间的增加,反射率急剧下降;在400°C氧气中3 min退火后,比接触电阻率可以达到3.6×10 3Ω·cm2.此外,适当提高沉积温度可以增加Ni/Ag/Ti/Au的反射率并降低比接触电阻率,沉积温度为120°C条件下的Ni/Ag/Ti/Au电极在450 nm处反射率达到90.1%,比接触电阻率为6.4×10 3Ω·cm2.综合考虑电学和光学性能,在沉积温度为120°C下蒸镀Ni/Ag/Ti/Au(1/200/100/100 nm)并在400°C氧气中进行3 min退火可以得到较优化的电极.利用此电极制作的垂直结构发光二极管在350 m A电流下的工作电压为2.95 V,输出光功率为387.1 m W,电光转换效率达到37.5%.
- 魏政鸿云峰丁文黄亚平王宏李强张烨郭茂峰刘硕吴红斌
- 关键词：P-GAN欧姆接触反射率
