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周杨
作品数:
3
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供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
罗乐
中国科学院上海微系统与信息技术...
徐高卫
中国科学院上海微系统与信息技术...
郑涛
中国科学院上海微系统与信息技术...
王华忠
华东理工大学
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作者
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周杨
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徐高卫
2篇
罗乐
1篇
王华忠
1篇
郑涛
传媒
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1篇
2019
2篇
2015
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圆片级硅基集成小型化分形天线及其制备方法
本发明提供一种圆片级硅基集成小型化分形天线及其制备方法,包括如下步骤:1)提供一晶圆,所述晶圆包括相对的第一表面及第二表面;2)于所述晶圆内形成穿硅通孔,并于所述穿硅通孔的内壁形成绝缘层;3)于所述穿硅通孔内填充金属层以...
张伟博
罗乐
徐高卫
周杨
文献传递
基于TE模型的故障诊断及MATLAB和组态王的实时监测
2015年
介绍TE过程模型,以及典型的故障诊断方法 PCA,并利用MATLAB和组态王软件实现了TE过程故障的实时监控与人机交互。
周杨
王华忠
关键词:
TE过程
故障诊断
组态王
一种高密度电感的制造方法
本发明涉及一种高密度电感的制造方法,包括以下步骤:在硅基板正反两面沉积掩膜层后在该硅基板反面形成腐蚀窗口;沿所述腐蚀窗口形成位于该硅基板内的深坑结构;在所述硅基板正面的掩膜层上形成第一层金属图形;在步骤C之后获得的结构上...
郑涛
罗乐
徐高卫
周杨
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