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文献类型

  • 2篇中文专利

主题

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  • 1篇椭圆偏振光
  • 1篇椭圆偏振光谱

机构

  • 2篇北京航空航天...

作者

  • 2篇范志强
  • 2篇马登浩
  • 2篇张雷
  • 2篇刘嘉
  • 2篇马强
  • 2篇张维佳
  • 2篇马晓波
  • 2篇宋登元

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2015
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
一种纳米硅薄膜太阳能电池椭园偏振光谱实时监控制备方法
本发明一种纳米硅薄膜太阳能电池椭园偏振光谱实时监控制备方法,它有七大步骤。采用化学法对单晶硅片进行各向异性腐蚀,形成金字塔状的绒面硅片衬底;采用等离子体增强化学气相沉法制备晶态含量在50±5%之间,晶态峰在502-518...
张维佳马强宋登元刘嘉张雷马晓波范志强马登浩
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一种纳米硅薄膜太阳能电池椭圆偏振光谱实时监控制备方法
本发明一种纳米硅薄膜太阳能电池椭圆偏振光谱实时监控制备方法,它有七大步骤。采用化学法对单晶硅片进行各向异性腐蚀,形成金字塔状的绒面硅片衬底;采用等离子体增强化学气相沉法制备晶态含量在50±5%之间,晶态峰在502‑518...
张维佳马强宋登元刘嘉张雷马晓波范志强马登浩
文献传递
共1页<1>
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