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宋登元
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一种纳米硅薄膜太阳能电池椭园偏振光谱实时监控制备方法
本发明一种纳米硅薄膜太阳能电池椭园偏振光谱实时监控制备方法,它有七大步骤。采用化学法对单晶硅片进行各向异性腐蚀,形成金字塔状的绒面硅片衬底;采用等离子体增强化学气相沉法制备晶态含量在50±5%之间,晶态峰在502-518...
张维佳
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一种纳米硅薄膜太阳能电池椭圆偏振光谱实时监控制备方法
本发明一种纳米硅薄膜太阳能电池椭圆偏振光谱实时监控制备方法,它有七大步骤。采用化学法对单晶硅片进行各向异性腐蚀,形成金字塔状的绒面硅片衬底;采用等离子体增强化学气相沉法制备晶态含量在50±5%之间,晶态峰在502‑518...
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