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朱雨
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9
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供职机构:
中国科学院深圳先进技术研究院
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相关领域:
文化科学
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合作作者
唐永炳
中国科学院深圳先进技术研究院
刘辉
中国科学院深圳先进技术研究院
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文化科学
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金刚石
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刚石
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微波等离子体
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微波等离子体...
机构
9篇
中国科学院
作者
9篇
唐永炳
9篇
朱雨
3篇
刘辉
年份
1篇
2019
2篇
2018
3篇
2017
1篇
2016
2篇
2015
共
9
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用于金刚石单晶同质外延的籽晶托盘、基台组件及其应用
本发明适用于金刚石合成技术领域,提供了一种用于金刚石单晶同质外延的籽晶托盘、基台组件及其应用。所述籽晶托盘置于微波等离子体化学气相沉积装置的水冷台上,所述籽晶托盘中心开设有用于放置籽晶的穿孔。所述用于金刚石单晶同质外延的...
唐永炳
牛卉卉
朱雨
文献传递
等离子源系统和等离子生成方法
一种等离子源系统和等离子生成方法,该系统包括用于输送待反应气体的管道传输装置、环形的磁场产生装置、电位可调的透磁导电的直流偏压装置以及具有圆柱形腔体的等离子反应装置,所述磁场产生装置和等离子反应装置的中轴线重合,在所述圆...
唐永炳
朱雨
用于金刚石单晶同质外延的籽晶托盘、基台组件及其应用
本发明适用于金刚石合成技术领域,提供了一种用于金刚石单晶同质外延的籽晶托盘、基台组件及其应用。所述籽晶托盘置于微波等离子体化学气相沉积装置的水冷台上,所述籽晶托盘中心开设有用于放置籽晶的穿孔。所述用于金刚石单晶同质外延的...
唐永炳
牛卉卉
朱雨
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一种用于制备金刚石的基台组件
本发明适用于金刚石合成技术领域,提供了一种用于制备金刚石的基台组件,包括水冷台和设置在所述水冷台上的基片托,所述水冷台和所述基片托紧密连接,其中,所述基片托近外边缘处的上下表面开设环形槽,分别形成上热桥和下热桥,所述水冷...
唐永炳
朱雨
牛卉卉
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一种基于金刚石晶体的复合材料及其制备方法
本发明提供了一种基于金刚石晶体的复合材料的制备方法,包括:在碳纳米管和/或碳纤维的表面上形成阻隔层;在阻隔层上形成用于引导金刚石晶体沉积的形核位点;在阻隔层上沉积金刚石涂层。采用本发明的上述制备方法,通过阻隔层可以在不破...
唐永炳
朱雨
牛卉卉
刘辉
文献传递
等离子体源单元、等离子体源装置及其应用
本发明涉及等离子体源单元、等离子体源装置及其应用。所述等离子体源单元包括能源供应系统和微波谐振腔系统,所述微波谐振腔系统包括同轴式微波谐振腔、金属天线、同轴金属柱、空心金属圆柱和金属陶瓷部,所述同轴式微波谐振腔在底部和顶...
唐永炳
朱雨
牛卉卉
刘辉
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等离子源系统和等离子生成方法
一种等离子源系统和等离子生成方法,该系统包括用于输送待反应气体的管道传输装置、环形的磁场产生装置、电位可调的透磁导电的直流偏压装置以及具有圆柱形腔体的等离子反应装置,所述磁场产生装置和等离子反应装置的中轴线重合,在所述圆...
唐永炳
朱雨
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等离子体源单元、等离子体源装置及其应用
本发明涉及等离子体源单元、等离子体源装置及其应用。所述等离子体源单元包括能源供应系统和微波谐振腔系统,所述微波谐振腔系统包括同轴式微波谐振腔、金属天线、同轴金属柱、空心金属圆柱和金属陶瓷部,所述同轴式微波谐振腔在底部和顶...
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一种用于制备金刚石的基台组件
本发明适用于金刚石合成技术领域,提供了一种用于制备金刚石的基台组件,包括水冷台和设置在所述水冷台上的基片托,所述水冷台和所述基片托紧密连接,其中,所述基片托近外边缘处的上下表面开设环形槽,分别形成上热桥和下热桥,所述水冷...
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