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刘辉

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院深圳先进技术研究院更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

主题

  • 2篇等离子
  • 2篇等离子体
  • 2篇等离子体源
  • 2篇陶瓷
  • 2篇同轴
  • 2篇同轴式
  • 2篇转接头
  • 2篇微波谐振腔
  • 2篇金属
  • 2篇金属陶瓷
  • 1篇碳纳米管
  • 1篇涂层
  • 1篇阻隔层
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米管
  • 1篇纳米线
  • 1篇结合力
  • 1篇金刚石
  • 1篇金刚石涂层
  • 1篇刚石

机构

  • 3篇中国科学院

作者

  • 3篇刘辉
  • 3篇唐永炳
  • 3篇朱雨

年份

  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 1篇2015
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
等离子体源单元、等离子体源装置及其应用
本发明涉及等离子体源单元、等离子体源装置及其应用。所述等离子体源单元包括能源供应系统和微波谐振腔系统，所述微波谐振腔系统包括同轴式微波谐振腔、金属天线、同轴金属柱、空心金属圆柱和金属陶瓷部，所述同轴式微波谐振腔在底部和顶...
唐永炳朱雨牛卉卉刘辉
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一种基于金刚石晶体的复合材料及其制备方法
本发明提供了一种基于金刚石晶体的复合材料的制备方法，包括：在碳纳米管和/或碳纤维的表面上形成阻隔层；在阻隔层上形成用于引导金刚石晶体沉积的形核位点；在阻隔层上沉积金刚石涂层。采用本发明的上述制备方法，通过阻隔层可以在不破...
唐永炳朱雨牛卉卉刘辉
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等离子体源单元、等离子体源装置及其应用
本发明涉及等离子体源单元、等离子体源装置及其应用。所述等离子体源单元包括能源供应系统和微波谐振腔系统，所述微波谐振腔系统包括同轴式微波谐振腔、金属天线、同轴金属柱、空心金属圆柱和金属陶瓷部，所述同轴式微波谐振腔在底部和顶...
唐永炳朱雨牛卉卉刘辉
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