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宋新丰

作品数：19 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 19篇中文专利

主题

  • 12篇半导体
  • 8篇半导体设备
  • 6篇排气
  • 4篇冷却水
  • 4篇阀门
  • 3篇水管
  • 3篇水冷系统
  • 3篇排气装置
  • 3篇气动
  • 3篇气动阀
  • 3篇微环境
  • 3篇密封
  • 3篇内部流场
  • 3篇均流
  • 3篇控制装置
  • 3篇换热
  • 3篇换热器
  • 3篇回风
  • 3篇供水
  • 3篇供水管

机构

  • 19篇北京七星华创...

作者

  • 19篇宋新丰
  • 15篇王丽荣
  • 4篇张军奎
  • 3篇刘红丽
  • 3篇徐冬
  • 2篇赵晨博
  • 1篇林欣家
  • 1篇孙晋博
  • 1篇董金卫

年份

  • 3篇2016
  • 1篇2015
  • 14篇2014
  • 1篇2013
共 19 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种工艺管排气装置
本发明公开了一种工艺管排气装置，将半导体立式热处理设备工艺管的排气口与连通排气管路的排气管采用法兰相对接，法兰连接面之间具有间隙，并设有密封圈密封，在一侧法兰的连接面位于密封圈与法兰内壁之间处设有吹气口，吹气口通过法兰本...
徐冬宋新丰
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一种换热器均流装置
本发明公开了一种换热器均流装置，包括换热器、回风盒、回风盒下侧设有出风口，所述换热器与回风盒之间设有均流板，所述均流板划分至少两个不同的区域，所述均流板各区域设有若干个供气流通过的通孔，所述通孔大小和/或分布密度自上而下...
宋新丰王丽荣
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一种带有排气的冷却水供给装置及控制方法
本发明公开了一种带有排气的冷却水供给装置及控制方法，供给装置包括主管路，一端通过总控阀门连接至工厂冷却水供给端，另一端连接一排气支路；主管路并联有若干冷却水输出口，冷却水输出口连接冷却水支路，冷却水支路通过阀门连接至各冷...
张军奎王丽荣宋新丰
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风机过滤单元
本发明公开了一种风机过滤单元，安装在半导体立式炉设备的侧壁上，包括：壳体，所述壳体为长方体空心结构，壳体的正面开设有出风口；第一过滤器，所述第一过滤器固定安装在壳体的出风口处；空腔，所述第一过滤器与所述壳体之间设有供气流...
宋新丰王丽荣
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一种半导体设备的微环境排气控制装置
本实用新型公开了一种半导体设备的微环境排气控制装置，将气动阀的气缸通过一开口部具有水平外延裙边的倒置环形凹槽形气缸支撑体与一上集气盒连接，一下集气盒连通微环境，开有支排排气孔，上集气盒开有设备主排排气孔和气动阀阀体进入孔...
刘红丽王丽荣宋新丰
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一种半导体设备的微环境排气控制装置
本发明公开了一种半导体设备的微环境排气控制装置，将气动阀的气缸通过一开口部具有水平外延裙边的倒置环形凹槽形气缸支撑体与一上集气盒连接，一下集气盒连通微环境，开有支排排气孔，上集气盒开有设备主排排气孔和气动阀阀体进入孔，上...
刘红丽王丽荣宋新丰
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低压化学气相沉积系统（300mm）
1.本外观设计产品的名称：低压化学气相沉积系统（300mm）。;2.本外观设计产品的用途：用于硅晶片低压气相化学淀积。;主要用于300mm硅晶片多晶硅薄膜淀积和非晶硅薄膜淀积。;3.本外观设计的设计要点：在于产品的形状。...
董金卫宋新丰林欣家
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一种换热器均流装置
本实用新型公开了一种换热器均流装置，包括换热器、回风盒、回风盒下侧设有出风口，所述换热器与回风盒之间设有均流板，所述均流板划分至少两个不同的区域，所述均流板各区域设有若干个供气流通过的通孔，所述通孔大小和/或分布密度自上...
宋新丰王丽荣
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一种带有排气的冷却水供给装置
本实用新型公开了一种带有排气的冷却水供给装置，供给装置包括主管路，一端通过总控阀门连接至工厂冷却水供给端，另一端连接一排气支路；主管路并联有若干冷却水输出口，冷却水输出口连接冷却水支路，冷却水支路通过阀门连接至各冷却点的...
张军奎王丽荣宋新丰
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一种冷却水控制系统
本实用新型提供了一种冷却水控制系统，所述系统包括：入水主管路、出水总管路以及设置于入水主管路和出水主管路之间的两条以上的支管路，其中，在入水主管路的起始端设置有入水总阀门，在出水总管路的末尾端设置有出水总阀门；在每条支管...
张军奎王丽荣宋新丰
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共2页<12>
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