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李一吾

作品数：7 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇中文专利

主题

  • 3篇导轨
  • 3篇流体
  • 3篇螺钉
  • 3篇螺柱
  • 3篇接口
  • 3篇接口连接
  • 3篇固定螺钉
  • 1篇灯组
  • 1篇支承
  • 1篇排气
  • 1篇排气法
  • 1篇轴承
  • 1篇轴向
  • 1篇外延层
  • 1篇密封
  • 1篇密封圈
  • 1篇进气
  • 1篇晶体
  • 1篇可调节
  • 1篇滑板

机构

  • 7篇北京七星华创...

作者

  • 7篇李一吾
  • 6篇龙睿芬
  • 4篇刘东
  • 3篇苏艳波
  • 3篇魏景峰
  • 3篇兰云峰
  • 1篇崔娟娟
  • 1篇刘俊豪

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 5篇2013
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
一种密封装置
本实用新型公开了一种密封装置，包括反应腔室、位于反应腔室两端的进气法兰组件、排气法兰组件以及关节轴承，所述进气法兰组件与反应腔室之间设有密封圈，所述排气法兰组件与反应腔室的接触面之间设有密封圈，所述排气法兰组件与所述关节...
魏景峰李一吾龙睿芬刘东
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一种可调节的红外线灯组及加热装置
本实用新型公开了一种可调节的红外线灯组，涉及半导体工艺技术领域。所述灯组包括：固定管、加热器、角度调节架、纵向调节架；固定管固定在外延腔室内；加热器设置在固定管的内部；角度调节架的中部连接加热器，下部滑动连接纵向调节架的...
魏景峰刘东龙睿芬李一吾
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风量调节装置
本实用新型公开了一种风量调节装置，包括沿风道的轴向设有开口的支承体、可滑动地改变与所述开口重合部分面积的控制滑板、以及驱动所述控制滑板滑动的滑动调节件。本实用新型提供的风量调节装置，可在有易燃易爆气体存在的环境下使用；在...
刘东崔娟娟李一吾刘俊豪
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一种用于反应源瓶的取放装置
本实用新型公开了一种用于反应源瓶的取放装置，所述取放装置包括两枚调整螺柱和调整支撑板，调整螺柱与调整支撑板螺纹连接，通过调节调整螺柱的螺纹位置控制调整支撑板的升降；还包括导向轴套、导向轴、导向轴固定螺钉，导向轴套套装在导...
兰云峰龙睿芬李一吾苏艳波
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原子层沉积设备
1.本外观设计产品的名称：原子层沉积设备。;2.本外观设计产品的用途：利用原子层沉积技术制备薄膜。;3.本外观设计的设计要点：在于产品的整体形状及用管道连接的两机箱分体结构。;4.本外观设计为大型设备,底面不常见，故省略...
刘东魏景峰李一吾龙睿芬
一种用于反应源瓶的取放装置
本发明公开了一种用于反应源瓶的取放装置，包括：两枚调整螺柱和调整支撑板，调整螺柱与调整支撑板螺纹连接，通过调节调整螺柱的螺纹位置控制调整支撑板的升降；还包括导向轴套、导向轴、导向轴固定螺钉，导向轴套套装在导向轴上，导向轴...
兰云峰龙睿芬李一吾苏艳波
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一种用于反应源瓶的取放装置
本发明公开了一种用于反应源瓶的取放装置，包括：两枚调整螺柱和调整支撑板，调整螺柱与调整支撑板螺纹连接，通过调节调整螺柱的螺纹位置控制调整支撑板的升降；还包括导向轴套、导向轴、导向轴固定螺钉，导向轴套套装在导向轴上，导向轴...
兰云峰龙睿芬李一吾苏艳波
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