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马超

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文专利

主题

  • 3篇控制装置
  • 2篇电偶
  • 2篇真空
  • 2篇伸缩性
  • 2篇气体浓度
  • 2篇热电偶
  • 2篇温度均匀性
  • 2篇温度控制
  • 2篇温度控制装置
  • 2篇均匀性
  • 2篇控制精度
  • 2篇硅片
  • 2篇半导体
  • 2篇半导体设备
  • 2篇波纹管
  • 2篇测温
  • 2篇测温热电偶
  • 1篇气体流量
  • 1篇气体压力
  • 1篇模块化

机构

  • 6篇北京七星华创...

作者

  • 6篇马超
  • 4篇崔娟娟
  • 4篇程朝阳
  • 4篇刘俊豪
  • 2篇彭文芳
  • 2篇赵星梅

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2015
  • 2篇2013
  • 2篇2012
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
气体浓度控制装置、系统和方法
本发明的气体浓度控制系统以及方法扩展性强，可根据具体工艺灵活进行控制模式以及控制参数的配置，控制精度高，可靠性、可重复性和稳定性好。该气体浓度控制方法在软件设计思想上完全采用模块化结构，模块功能分明，对外仅公开接口，安全...
崔娟娟程朝阳刘俊豪马超
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气体浓度控制装置
本实用新型提供了一种气体浓度控制装置，所述装置包括：进口气路单元，用于控制、过滤、调节以及显示进口气体压力，并将处理后的气体送入源瓶；源瓶，用于存放源气体；出口气路单元，用于控制以及显示出口气体压力，并将源瓶出口的混合气...
崔娟娟程朝阳刘俊豪马超
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半导体设备的温度控制装置、控制系统及其控制方法
本发明公开了一种温度控制装置，包括硅片承载部，多个光加热部，测温部和温度控制部。硅片承载部包括工艺腔室、水平保持硅片的基座以及旋转该基座的旋转机构。多个光加热部向硅片射出加热光以在硅片表面形成多个加热区域，其包括平行分布...
刘俊豪程朝阳崔娟娟马超
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真空测温热电偶装置
本发明公开了一种真空测温热电偶装置，包括：热电偶和波纹管装置，所述波纹管装置套设在热电偶冷端的外围。本发明的真空测温热电偶装置结合了普通热电偶和波纹管的特性，利用波纹管来控制热电偶与待测物体的接触，能准确测量真空环境中弹...
赵星梅克雷格·伯考马超彭文芳
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真空测温热电偶装置
本实用新型公开了一种真空测温热电偶装置，包括：热电偶和波纹管装置，所述波纹管装置套设在热电偶冷端的外围。本实用新型的真空测温热电偶装置结合了普通热电偶和波纹管的特性，利用波纹管来控制热电偶与待测物体的接触，能准确测量真空...
赵星梅克雷格·伯考马超彭文芳
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半导体设备的温度控制装置、控制系统及其控制方法
本发明公开了一种温度控制装置，包括硅片承载部，多个光加热部，测温部和温度控制部。硅片承载部包括工艺腔室、水平保持硅片的基座以及旋转该基座的旋转机构。多个光加热部向硅片射出加热光以在硅片表面形成多个加热区域，其包括平行分布...
刘俊豪程朝阳崔娟娟马超
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