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陈晓斌

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：北京京东方光电科技有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇清洁装置
  • 1篇驱动马达
  • 1篇滑轮
  • 1篇滑轮组
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射设备
  • 1篇靶材

机构

  • 1篇北京京东方光...

作者

  • 1篇杜晓健
  • 1篇陈岩
  • 1篇陈晓斌

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种溅射设备
本实用新型公开了一种溅射设备，包括真空腔体，所述真空腔体内有清洁装置，所述清洁装置包括：空间移动导轨、滑轮组、滑轮驱动马达、静电发生器、静电吸尘器、打磨装置、打磨装置驱动马达；其中，空间移动导轨设置在溅射设备真空腔体内；...
陈岩杜晓健陈晓斌
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